一种谐振式微机械加速度计制造技术

一种谐振式微机械加速度计，包括基片、质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、音叉、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为轴对称图形，质量块呈“回”字型，质量块中间是杠杆放大机构、音叉、齿枢、悬臂梁和驱动电极、检测电极，质量块外围是止挡。发明专利技术中的“回”字型质量块设计能够使元件在有限体积下实现较大的质量块；谐振梁采用双端固定音叉的形式，并且两端通过细颈结构与外围连接，有效减小谐振梁和外围结构的能量耦合；以对称布置的两个音叉实现谐振频率的差动输出。本发明专利技术的结构形式提高了加速度计的灵敏度、分辨率，易于实现高精度的测量。

【技术实现步骤摘要】
一种谐振式微机械加速度计
本专利技术涉及一种谐振式微机械加速度计，属于微机电系统MEMS中的微机械传感器领域，它作为微惯性器件广泛应用于汽车电子、航空航天、武器装备等领域。
技术介绍
MEMS正处于发展时期，它的技术和市场都尚未成熟，但其孕育的广阔发展前景和巨大的社会、经济效益是世人共知的，微机械加速度计是其中最成功的代表。微机械加速度计的研究始于20世纪70年代初，现有压阻式、电容式、压电式、力平衡式、热对流式、谐振式和隧道电流式等多种形式。与诸多形式相比，谐振式微机械加速度计输出的是频率信号，这种准数字信号具有很高的抗干扰能力和稳定性，传输中不易出现失真，信号不需要经过A/D转换，直接与数字处理器相连。谐振式微机械加速度计是一种高精度的加速度计，有良好的发展前景。谐振式微机械加速度计在国外已有小批量的产品出现，还在继续发展中，在国内还处于实验室样机阶段，距产业化还有一定的距离。现有的谐振式微机械加速度计由谐振梁和敏感质量块组成，加速度经敏感质量块转化为惯性力，惯性力作用在谐振梁的轴向，使谐振梁的谐振频率发生变化，通过测量谐振频率推算出被测加速度。目前的谐振式微机械加速度计产品多本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种谐振式微机械加速度计，其特征在于：包括基片、质量块、悬臂梁、两个对称的杠杆放大机构、两个对称的音叉、驱动电极、检测电极，质量块处于结构的四周，呈“回”字型，质量块的中间为悬臂梁，悬臂梁的两端与质量块固连，悬臂梁的中间通过锚点与基片固连；以轴对称布置有两个谐振梁，每个谐振梁采用双端固定音叉的形式，音叉的两端通过细颈结构分别与锚点和杠杆机构固连，在每个音叉的两侧有齿枢，齿枢两侧的梳齿构成驱动电极和检测电极。

【技术特征摘要】
1、一种谐振式微机械加速度计，其特征在于：包括基片、质量块、悬臂梁、两个对称的杠杆放大机构、两个对称的音叉、驱动电极、检测电极，质量块处于结构的四周，呈“回”字型，质量块的中间为悬臂梁，悬臂梁的两端与质量块固连，悬臂梁的中间通过锚点与基片固连；以轴对称布置有两个谐振梁，每个谐振梁采用双端固定音叉的形式，音叉的两端通过细颈结构分别与锚点和杠杆机构固连，在每个音叉的两侧有齿枢，齿枢两侧的梳齿构成...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊尚春，任杰，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]