【技术实现步骤摘要】
一种扭摆式硅MEMS角加速度传感器
本专利技术涉及一种扭摆式硅MEMS角加速度传感器，可以应用于惯性稳定控制系统，角振动测试系统，并可以应用于工作时间短、成本低、动态范围大的战术武器的惯性导航系统。
技术介绍
在很多运动物体的控制、监测和导航中，不仅需要角位移、角速度信息，更需要角加速度信息。20世纪40年代德国曾采用了角加速度传感器用于V-2导弹制导系统，随着控制技术的发展，能直接输出运动物体相对于惯性空间角加速度信息的YC类角加速度传感器应用越来越广泛，如今坦克、舰船、火炮、导弹、运载火箭、卫星以及航天飞机等运动物体的控制系统中，均使用了角加速度传感器。YC类角加速度传感器也广泛应用于测试方面，例如飞机的机动性能测试、交通工具的启动及刹车性能的测试和精密机械设备工作的平稳性测试等。随着科学技术的发展，精度的进一步提高，角加速度传感器也可以应用于工作时间短、成本低、动态范围大的战术武器的惯性导航系统。美国、俄罗斯等发达国家十分重视角加速度传感器的研究工作，先后研发了多种机械式及光学角加速度传感器。机械式角加速度传感器发展较早，种类较多，其中机械陀螺式角加速度传...
【技术保护点】
扭摆式硅ＭＥＭＳ角加速度传感器，其特征在于：由敏感元件（８）、电容式变换器（９）、反馈静电力矩器（１０）、信号处理电路（１１）以及壳体（１２）组成，壳体（１２）包括真空封装外壳和基座（１），敏感元件（８）包括两个固连在基座（１）上的锚点（２）、一个活动极板（３）、两个两端分别固连在锚点（２）和活动极板（３）上的挠性支撑梁（４）和两个对称分布在活动极板（３）上表面的质量块（５），挠性支撑梁（４）位于活动极板（３）的中心线上，在活动极板（３）下面的基座上，埋置两对对称分布的固定极板，一对为电容式变换器（９）的敏感电极（６），一对为反馈静电力矩器（１０）的施力电极（７），通过导线...
【技术特征摘要】
1、扭摆式硅MEMS角加速度传感器，其特征在于：由敏感元件(8)、电容式变换器(9)、反馈静电力矩器(10)、信号处理电路(11)以及壳体(12)组成，壳体(12)包括真空封装外壳和基座(1)，敏感元件(8)包括两个固连在基座(1)上的锚点(2)、一个活动极板(3)、两个两端分别固连在锚点(2)和活动极板(3)上的挠性支撑梁(4)和两个对称分布在活动极板(3)上表面的质量块(5)，挠性支撑梁(4)位于活动极板(3)的中心线上，在活动极板(3)下面的基座上，埋置两对对称分布的固定极板，一对为电容式变换器(9)的敏感电极(6)，一对为反馈静电力矩器(10)的施力电极(7)，通过导线分别与电容式变换电路(9)和反馈静电力矩器(10)连接，敏感元件(8)敏感角加速度产生绕着挠性支撑梁(...
【专利技术属性】
技术研发人员：房建成，李建利，张海鹏，张延顺，俞文伯，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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