一种双轴谐振式微机械加速度计制造技术

双轴谐振式微机械加速度计包括基片、质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、音叉、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为中心对称图形，通过一个质量块敏感两个正交方向的加速度，质量块呈“回”字型，质量块中间是悬臂梁、杠杆放大机构、音叉、齿枢和驱动电极、检测电极，质量块外围是止挡。发明专利技术中的“回”字型的质量块设计能够使元件有限体积下实现较大的质量块；８根悬臂梁组成的弹性支撑实现了两个正交方向的解耦，使两个方向的灵敏度、分辨率都较高；谐振梁采用双端固定音叉的形式，其两端通过细颈结构与外围固连；以对称布置的两个音叉实现谐振频率的差动输出。本发明专利技术的结构形式使微机械加速度计在两个正交方向均有较高的灵敏度、分辨率，易于实现高精度的二维加速度测量。

【技术实现步骤摘要】
一种双轴谐振式微机械加速度计
本专利技术属于MEMS(微机电系统)中的微机械传感器领域，它作为微惯性器件广泛应用于汽车电子、航空航天、武器装备等领域。
技术介绍
MEMS正处于发展时期，它的技术和市场都尚未成熟，但其孕育的广阔发展前景、巨大的社会、经济效益是世人共知的，微机械加速度计是其中最成功的代表之一。微机械加速度计的研究始于20世纪70年代初，并在80年代形成单轴微机械加速度计产品，90年代末出现了多轴的微机械加速度计，市场上最具有代表性的是美国AD公司ADXL系列微机械加速度计。微机械加速度计发展很快，有压阻式、电容式、压电式、力平衡式、热对流式、谐振式和隧道电流式等多种形式。与诸多形式相比，谐振式微机械加速度计输出的是频率信号，这种准数字信号具有很高的抗干扰能力和稳定性，传输中不易出现失真，信号不需要经过A/D转换，直接与数字处理器相连。谐振式微机械加速度计是一种高精度的加速度计，有良好的发展前景。目前的微机械加速度计产品大多是中低精度的，严重地制约其应用范围，较多地应用在精度要求不高的商用领域。微机械加速度计产品多是单轴的，而实际应用中常常需要双轴或三轴加速度计来测量加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双轴谐振式微机械加速度计，其特征在于：包括基片、质量块、８个悬臂梁、４个杠杆放大机构、４个音叉和４组齿枢、驱动电极、检测电极，整个结构为中心对称图形，通过一个质量块敏感两个正交方向的加速度；质量块呈“回”字型，质量块中间是８个悬臂梁、４个杠杆放大机构、４个音叉和４组齿枢、驱动电极、检测电极，谐振梁采用双端固定音叉的形式，每个音叉的两端通过细颈结构分别与杠杆放大机构和锚点固连，音叉对称布置，音叉两侧对称布置有齿枢、驱动电极、检测电极。

【技术特征摘要】
1.一种双轴谐振式微机械加速度计，其特征在于：包括基片、质量块、8个悬臂梁、4个杠杆放大机构、4个音叉和4组齿枢、驱动电极、检测电极，整个结构为中心对称图形，通过一个质量块敏感两个正交方向的加速度；质量块呈“回”字型，质量块中间是8个悬臂梁、4个杠杆放大机构、4个音叉和4组齿枢、驱动电极、检测电极，谐振梁采用双端固定音叉的形式，每个音叉的两端通过细颈结构分别与杠杆放大机构和锚点固连，音叉对称布置，音叉两侧对...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊尚春，任杰，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]