【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种介观压阻效应微加速度计,其特征在于,包括:键合基板,键合基板上制作有为敏感质量块提供运动空间的底槽;加速度敏感体,所述的加速度敏感体设在键合基板的上方,并与键合基板粘结牢固,且加速度敏感体包括:敏感质量块,对应设在键合基板底槽上方;组合梁,用于连接敏感质量块和支撑框体;支撑框体,通过组合梁与敏感质量块连接,对敏感质量块起到支撑作用;共振隧穿器件,作为微加速度计的敏感部件,设在组合梁的检测梁根部。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李孟委,王莉,李锡广,白晓晓,王琪,杜康,刘俊,郑伦贵,
申请(专利权)人:中北大学,
类型:发明
国别省市:
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