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一种谐振式微机械加速度计，包括基片、质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、音叉、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为轴对称图形，质量块呈“回”字型，质量块中间是杠杆放大机构、音叉、齿枢、悬臂梁和驱动电极、检测电极，质量块外围是止挡。发明中的“回”...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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