可精细控制温度的晶圆蒸发台制造技术

本实用新型专利技术公开了可精细控制温度的晶圆蒸发台，包括真空蒸发器本体与设置在真空蒸发器本体上的真空泵，所述真空泵的外侧设置有吸音机构，所述吸音机构包括直角板与四个金属吸音板，所述直角板上设置有若干凸起筋，且凸起筋上设置有第一六角螺丝，相邻的两个所述金属吸音板之间设置有第一直角片，且第一直角片上设置有两个第二六角螺丝，所述直角板的底部贯穿有排气管，所述直角板一侧贯穿有第一导管，且真空泵上设置有第二导管，所述直角板的一侧通过第一螺栓固定安装有直角盒，且直角盒的内部设置有内腔。本实用新型专利技术利用多个金属吸音板实现对噪音的吸收，避免了噪音污染，同时实现了真空泵的快速散热，安全性高，实用性强。

【技术实现步骤摘要】
可精细控制温度的晶圆蒸发台
本技术涉及晶圆
，尤其涉及可精细控制温度的晶圆蒸发台。
技术介绍
晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆，晶圆是在真空环境下蒸发得出的。目前用于晶圆生产的蒸发台在实际使用时仍存在一定的不足之处：由于蒸发台的真空环境需要利用真空泵实现，而真空泵在运行时会产生大量的噪音，造成噪音污染，因此，我们提出可精细控制温度的晶圆蒸发台。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的可精细控制温度的晶圆蒸发台。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：可精细控制温度的晶圆蒸发台，包括真空蒸发器本体与设置在真空蒸发器本体上的真空泵，所述真空泵的外侧设置有吸音机构，所述吸音机构包括直角板与四个金属吸音板，所述直角板上设置有若干凸起筋，且凸起筋上设置有第一六角螺丝，相邻的两个所述金属吸音板之间设置有第一直角片，且第一直角片上设置有两个第二六角螺丝，所述直角板的底部贯穿有排气管，所述直角板一侧贯穿有第一导管，且真空泵本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.可精细控制温度的晶圆蒸发台，包括真空蒸发器本体(1)与设置在真空蒸发器本体(1)上的真空泵(2)，其特征在于，所述真空泵(2)的外侧设置有吸音机构(3)，所述吸音机构(3)包括直角板(4)与四个金属吸音板(5)，所述直角板(4)上设置有若干凸起筋(6)，且凸起筋(6)上设置有第一六角螺丝(7)，相邻的两个所述金属吸音板(5)之间设置有第一直角片(8)，且第一直角片(8)上设置有两个第二六角螺丝(9)，所述直角板(4)的底部贯穿有排气管(10)，所述直角板(4)一侧贯穿有第一导管(11)，且真空泵(2)上设置有第二导管(12)，所述直角板(4)的一侧通过第一螺栓固定安装有直角盒(13)，且直...

【技术特征摘要】
1.可精细控制温度的晶圆蒸发台，包括真空蒸发器本体(1)与设置在真空蒸发器本体(1)上的真空泵(2)，其特征在于，所述真空泵(2)的外侧设置有吸音机构(3)，所述吸音机构(3)包括直角板(4)与四个金属吸音板(5)，所述直角板(4)上设置有若干凸起筋(6)，且凸起筋(6)上设置有第一六角螺丝(7)，相邻的两个所述金属吸音板(5)之间设置有第一直角片(8)，且第一直角片(8)上设置有两个第二六角螺丝(9)，所述直角板(4)的底部贯穿有排气管(10)，所述直角板(4)一侧贯穿有第一导管(11)，且真空泵(2)上设置有第二导管(12)，所述直角板(4)的一侧通过第一螺栓固定安装有直角盒(13)，且直角盒(13)的内部设置有内腔(14)，所述直角盒(13)上设置有第二直角片(15)，且第二直角片(15)上开设有若干透气孔(16)，所述第二直角片(15)通过安装螺钉(17)固定安装在直角盒(13)上，所述直角盒(13)的顶部固定有进气管(18)。


2.根据权利要求1所述的可精细控制温度的晶圆蒸发台，其特征在于，所述排气管(10)与直角板(4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：田英干，
申请(专利权)人：嘉兴晶装电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33