【技术实现步骤摘要】
一种用于硬脆性薄片的加压贴片装置
本技术是关于硬脆性材料贴片设备的辅助设备领域，特别涉及一种用于硬脆性薄片的加压贴片装置。
技术介绍
硬脆性材料贴片设备在半导体行业应用非常广泛，其主要功能是将蜡液均匀地涂布在洁净的硬脆性薄片的一面，经过高温烘烤，通过贴片组件将其贴在预热好的陶瓷盘上，经冷压盘冷却后再进行后续的抛光工作。而在硬脆性材料贴片设备中，硬脆性薄片在贴片的过程中是否产生气泡是贴片质量好坏的关键因素。在现有技术的硬脆性薄片的贴片过程中，由于气囊材料及贴片部分结构的原因，常导致在加压贴片的过程中，很难将硬脆性薄片下方的气泡完全排净，对之后的抛光工序是不利的，易导致抛光液进入到硬脆性薄片中，造成贴片失败。因此如何减少贴片时的气泡率是一个急需解决的问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能够改善硬脆性薄片的加压贴片装置。为解决上述技术问题，本技术的解决方案是：提供一种用于硬脆性薄片的加压贴片装置，包括基台组件、旋转电缸、升降支架、线型模组、翻转气缸和贴片头...
【技术保护点】
1.一种用于硬脆性薄片的加压贴片装置，其特征在于，包括基台组件、旋转电缸、升降支架、线性模组、翻转气缸和贴片头组件；/n所述基台组件包括基台底板，基台底板通过安装在两侧的支撑柱与硬脆性材料贴片设备的底架相连；旋转电缸安装在基台底板上；所述线性模组与旋转电缸通过所述升降支架相连接；所述翻转气缸安装在线性模组的前端；所述贴片手臂与翻转气缸相连接；/n所述贴片头组件包括吸盘座，压环将气囊贴合在吸盘座的中心位置；吸盘座的上表面开有多个通气孔，作为真空吸附硬脆性薄片的气路通道，吸盘座中心开有通孔，通孔连接气囊用于作为鼓气时的气路通道；导向轴设有三组，分别安装在吸盘座的底部，并与贴片手...
【技术特征摘要】
1.一种用于硬脆性薄片的加压贴片装置，其特征在于，包括基台组件、旋转电缸、升降支架、线性模组、翻转气缸和贴片头组件；
所述基台组件包括基台底板，基台底板通过安装在两侧的支撑柱与硬脆性材料贴片设备的底架相连；旋转电缸安装在基台底板上；所述线性模组与旋转电缸通过所述升降支架相连接；所述翻转气缸安装在线性模组的前端；所述贴片手臂与翻转气缸相连接；
所述贴片头组件包括吸盘座，压环将气囊贴合在吸盘座的中心位置；吸盘座的上表面开有多个通气孔，作为真空吸附硬脆性薄片的气路通道，吸盘座中心开有通孔，通孔连接气囊用于作为鼓气时的气路通道；导向轴设有三组，分别安装在吸盘座的底部，并与贴片手臂配合套在一起；弹簧套在导向轴上，并安装在吸盘座与贴片手臂之间。
...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，卢嘉彬，周锋，聂魁宏，高红刚，刘小琴，赵志鹏，曹建伟，傅林坚，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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