一种低压高效晶圆清洗喷嘴装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种低压高效晶圆清洗喷嘴装置，包括底座，所述底座的顶端左右两侧均固定连接有支架且支架的顶端固定连接有外壳，所述外壳的内部右侧端固定安装有电机且电机的顶端安装有丝杆，所述丝杆的外侧壁上齿扣连接有丝杆套且丝杆套外侧壁上固定安装有轴承套A，所述轴承套A的底端固定连接有支撑板且支撑板的数量为两个，所述支撑板之间滑动连接有滑板且滑板的顶端固定安装有电动液压杆，所述电动液压杆的底端与轴承套A的底端固定连接，所述电动液压杆的表面固定安装有控制器，本实用新型专利技术结构简单、设计新颖，喷嘴可以来回移动，清洗范围更加广，十分的方便，并且可以根据晶圆的宽度对喷嘴的高度进行调节，大大提高了装置的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种低压高效晶圆清洗喷嘴装置
本技术涉及喷嘴装置，尤其涉及一种低压高效晶圆清洗喷嘴装置。
技术介绍
喷嘴又叫喷头，喷头是很多种喷淋，喷雾，喷油，喷砂设备里很关键的一个部件，甚至是主要部件，本技术涉及低压高效晶圆清洗喷嘴装置。专利号：CN109037116A的公布了一种晶圆清洗装置，该设计洗组件通过刷体表面螺旋分布的凹槽减少了表面异物的积累，螺旋形的结构增大了接触面积，而且有利于颗粒物脱离；同时通过与凹槽底部连通的若干支管，还可以进一步提高刷体的自清洗能力，从而提高对晶圆的清洗能力和延长刷体的使用寿命。但是上述专利还存在以下不足：1、该设计喷嘴不能移动，清洗范围有限，所以需要进行改进。2、该设计喷嘴高度无法根据晶圆的宽度进行调节，大大降低了装置的实用性，所以需要进行改进。
技术实现思路
本技术提供一种低压高效晶圆清洗喷嘴装置，结构简单、设计新颖，喷嘴可以来回移动，清洗范围更加广，十分的方便，并且可以根据晶圆的宽度对喷嘴的高度进行调节，大大提高了装置的实用性，可以有效解决解决
技术介绍
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【技术保护点】
1.一种低压高效晶圆清洗喷嘴装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶端左右两侧均固定连接有支架(2)且支架(2)的顶端固定连接有外壳(3)，所述外壳(3)的内部右侧端固定安装有电机(4)且电机(4)的顶端安装有丝杆(5)，所述丝杆(5)的外侧壁上齿扣连接有丝杆套(6)且丝杆套(6)外侧壁上固定安装有轴承套A(7)，所述轴承套A(7)的底端固定连接有支撑板(8)且支撑板(8)的数量为两个，所述支撑板(8)之间滑动连接有滑板(9)且滑板(9)的顶端固定安装有电动液压杆(10)，所述电动液压杆(10)的底端与轴承套A(7)的底端固定连接，所述电动液压杆(10)的表面固定安装有控制器(11...

【技术特征摘要】
1.一种低压高效晶圆清洗喷嘴装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶端左右两侧均固定连接有支架(2)且支架(2)的顶端固定连接有外壳(3)，所述外壳(3)的内部右侧端固定安装有电机(4)且电机(4)的顶端安装有丝杆(5)，所述丝杆(5)的外侧壁上齿扣连接有丝杆套(6)且丝杆套(6)外侧壁上固定安装有轴承套A(7)，所述轴承套A(7)的底端固定连接有支撑板(8)且支撑板(8)的数量为两个，所述支撑板(8)之间滑动连接有滑板(9)且滑板(9)的顶端固定安装有电动液压杆(10)，所述电动液压杆(10)的底端与轴承套A(7)的底端固定连接，所述电动液压杆(10)的表面固定安装有控制器(11)，所述滑板(9)的底端固定安装有水箱(12)且水箱(12)的表面安装有连接口(13)，所述水箱(12)的底端互通连接有喷嘴(14)。

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【专利技术属性】
技术研发人员：田英干，
申请(专利权)人：嘉兴晶装电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33