一种涂胶显影机晶圆高精度定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种涂胶显影机晶圆高精度定位装置，包括底座，所述底座的左右两侧均固定连接有支撑板且支撑板的顶端固定连接有外壳，所述外壳的内部右侧端固定安装有电机且电机的顶端安装有丝杆，所述丝杆外侧壁上齿扣连接有丝杆套且丝杆套外侧壁上固定安装有轴承套，所述轴承套底端安装有C/S手臂，所述底座顶端固定连接有固定板且固定板的顶端最左侧固定连接有圆弧边A，所述固定板的顶端右侧固定连接有空腔室且空腔室的右侧端固定安装有电动充气泵，本实用新型专利技术结构简单、设计新颖，在固定晶圆过程中操作十分简单、步骤少，大大节省了人力，并且C/S手臂定位十分便捷，而且准确度高。

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影机晶圆高精度定位装置
本技术涉及定位装置，尤其涉及一种涂胶显影机晶圆高精度定位装置。
技术介绍
晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)。由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。衬底材料有硅、锗、GaAs、InP、GaN等。由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆。，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，本技术涉及涂胶显影机晶圆高精度定位装置。专利号：CN106684025B的公布了一种晶圆定位装置，该设计结构紧凑，布局合理，限位块均布在待固定的晶圆圆周外侧，限制晶圆的水平方向移动，背膜与承片座实现晶圆竖直方向的限位，且限位块上的弹簧具有缓冲、吸收振动的效果，有效提高了晶圆固定的可靠性，降低了晶圆碎裂的发生率，保证晶圆精确、可靠的传输，提高晶圆加工的成品率，降低生产成本。但是上述专利还存在以下不足：1、该设计在固定晶圆时，需要进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂胶显影机晶圆高精度定位装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的左右两侧均固定连接有支撑板(2)且支撑板(2)的顶端固定连接有外壳(3)，所述外壳(3)的内部右侧端固定安装有电机(4)且电机(4)的顶端安装有丝杆(5)，所述丝杆(5)外侧壁上齿扣连接有丝杆套(6)且丝杆套(6)外侧壁上固定安装有轴承套(7)，所述轴承套(7)底端安装有C/S手臂(8)，所述底座(1)顶端固定连接有固定板(11)且固定板(11)的顶端最左侧固定连接有圆弧边A(12)，所述固定板(11)的顶端右侧固定连接有空腔室(13)且空腔室(13)的右侧端固定安装有电动充气泵(14)，所述空腔室(13)内部滑...

【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影机晶圆高精度定位装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的左右两侧均固定连接有支撑板(2)且支撑板(2)的顶端固定连接有外壳(3)，所述外壳(3)的内部右侧端固定安装有电机(4)且电机(4)的顶端安装有丝杆(5)，所述丝杆(5)外侧壁上齿扣连接有丝杆套(6)且丝杆套(6)外侧壁上固定安装有轴承套(7)，所述轴承套(7)底端安装有C/S手臂(8)，所述底座(1)顶端固定连接有固定板(11)且固定板(11)的顶端最左侧固定连接有圆弧边A(12)，所述固定板(11)的顶端右侧固定连接有空腔室(13)且空腔室(13)的右侧端固定安装有电动充气泵(14)，所述空腔室(13)内部滑动连接有移动板(16)且移动板(16)的左侧端固定连接有连杆(17)，所述连杆(17)的左侧端固定连接有圆弧边B(18)。
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【专利技术属性】
技术研发人员：田英干，
申请(专利权)人：嘉兴晶装电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33