真空干燥器制造技术

本申请涉及一种真空干燥器。该真空干燥器包括配置成提供内部空间的腔室、在内部空间中靠近腔室的底部的支承销、配置成向支承销供应电力的电源以及联接到腔室中的内部空间的泵。

【技术实现步骤摘要】
真空干燥器相关申请的交叉引用本申请要求于2019年3月28日提交的第10-2019-0036164号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部公开内容通过引用以其整体并入本文中。
本公开的各种实施方式涉及真空干燥器。
技术介绍
显示装置包括形成在衬底上的线、联接到所述线的晶体管以及配置成响应于从晶体管提供的电流而发光的发光元件。可以通过光刻技术在衬底上形成用于形成线、晶体管和发光元件的多种图案(和/或绝缘层)。例如，可以通过包括以下步骤的工艺在衬底上形成图案：将光刻胶施加到衬底，通过干燥器干燥已施加光刻胶的衬底，以及通过图案曝光处理、显影处理、热处理等加工衬底。在执行施加光刻胶的操作之后立即形成的光刻胶层可能具有流动性。因此，在用于后续工艺的转移工艺期间，光刻胶层的厚度可能改变。因此，为了防止光刻胶层的厚度改变，可以对其上具有光刻胶层的衬底执行干燥处理。干燥器可以包括腔室和设置在腔室底部上的支承销。衬底可以由支承销支承。干燥器可以通过对腔室的内部空间进行减压来干燥衬底。光刻胶在衬底的与每个支承销对应的区域(或支承销的位置)中的厚度可以不同于光刻胶在其它区域中的厚度。由于厚度上的差异，可能导致光刻胶具有不均匀的干燥斑点，这可能在显示装置的显示图像上表现为显示斑点。为了防止因支承销而出现斑点，支承销可以设置在衬底的、不在其中显示图像的非显示区域中。然而，由于显示装置具有多种不同尺寸，因此可能需要另外的努力和时间来改变支承销的位置，并且可能产生另外的缺陷(例如，因在附接或拆卸支承销的过程期间形成的颗粒而产生的缺陷)。
技术实现思路
本公开的各种实施方式涉及能够形成具有均匀或基本上均匀的厚度的光刻胶层的真空干燥器。根据本公开的实施方式，真空干燥器包括配置成提供内部空间的腔室、在内部空间中靠近腔室的底部的支承销、配置成向支承销供应电力的电源以及联接到腔室中的内部空间的泵。在实施方式中，真空干燥器可以包括在内部空间中被干燥的衬底，并且支承销可以直接支承衬底。在实施方式中，真空干燥器包括在衬底上的光刻胶，并且光刻胶可以包括具有极性的溶剂。在实施方式中，电力的电压电平可以是基于溶剂的极性的大小的，并且电力的电压电平可以配置成随着溶剂的极性增加而减小。在实施方式中，衬底的与支承销中的一个接触的接触部分的温度可以高于衬底的与支承销间隔开的非接触部分的温度。在实施方式中，支承销中的每个可以具有圆柱形状、半球形状、锥形形状和针形状中的任何一种形状。在实施方式中，支承销中的每个可以包括芯和配置成包围芯的壳。芯可以包括导电材料，并且壳可以包括绝缘材料。在实施方式中，支承销的热导率可以是0.3W/mK或更小。在实施方式中，电力的电压电平可以是基于热导率的，并且电力的电压电平可以配置成随着热导率的增加而增加。在实施方式中，电源可以包括电力生成电路和开关电路，其中，电力生成电路配置成生成电力，开关电路配置成响应于第一控制信号将电力生成电路的输出端子联接到支承销。在实施方式中，开关电路可以配置成响应于第二控制信号将支承销联接到地。在实施方式中，开关电路可以配置成在内部空间被减压之前将支承销联接到地。在实施方式中，开关电路可以配置成在内部空间被减压时将电源的输出端子联接到支承销。在实施方式中，当通过来自电源的电力而使支承销中的每个通电时，光刻胶在衬底的第一区域中的厚度可以变得大于光刻胶在衬底的第二区域中的厚度。衬底的第一区域可以与支承销中的一个重叠，并且衬底的第二区域可以与支承销间隔开。在实施方式中，当内部空间被减压时，光刻胶在第一区域中的厚度可以减小成与光刻胶在第二区域中的厚度相同。在实施方式中，腔室可以包括基板和盖。电源可以配置成在盖与基板紧密接触时将具有第一电压电平的电力供应到支承销。在实施方式中，电源可以配置成在盖与基板间隔开时将电力的电压电平调节到接地电压电平。在实施方式中，真空干燥器还可以包括支承板和升降器，其中，支承板处于基板之上，升降器与支承板联接并配置成调节支承板在内部空间中的高度。支承销可以分布在支承板上。在实施方式中，支承销可以通过支承板中的电力线彼此电联接。在实施方式中，支承销可以彼此独立地联接到电源。附图说明通过在结合附图考虑的同时参考下面的详细描述，本公开的实施方式的这些和其它特征及有益效果将变得更加显而易见。在附图中，在所有附图中使用相同的附图标记来指代相同的特征和部件。附图不一定是按比例绘制的。图1A和图1B是示出根据本公开的各种实施方式的真空干燥器的示例的剖视图。图2是示出根据本公开的实施方式的包括在图1A的真空干燥器中的支承销和支承板的图。图3A和图3B是示出通过真空干燥器形成光刻胶的比较性示例的图。图3C是示出图3B的第一区域的温度的图。图3D是示出根据本公开的实施方式的包括在图1A的真空干燥器中的支承销的多种示例的图。图4是示出根据本公开的实施方式的包括在图1A的真空干燥器中的支承销和电源的图。图5A至图5C是用于对图4的支承销和电源的操作进行描述的图。具体实施方式现在将详细参照本公开的各种实施方式，由于本公开的实施方式可以以许多不同的形式进行多种修改，因而在附图中示出了本公开的各种实施方式的特定示例，并在下文对这些特定示例进行描述。然而，本公开不限于下面的实施方式，并且可以修改成各种形式。在附图中可以省略与本公开的特征不直接相关的一些元件，以清楚地说明本公开。此外，附图中的一些元件的尺寸、比例等可以稍微夸大。应注意的是，在所有附图中，使用相同的附图标记来表示相同或相似的元件，并且将省略重复的说明。图1A和图1B是示出根据本公开的各种实施方式的真空干燥器10的示例的剖视图。图1A示出真空干燥器10的密封状态(或关闭状态)，并且图1B示出真空干燥器10的未密封状态(或打开状态)。图2是示出根据本公开的实施方式的包括在图1A的真空干燥器10中的一系列支承销220和支承板210的图。参照图1A、图1B和图2，真空干燥器10配置成减小其内置空间的压力(或者在内置空间中形成真空或基本上真空)，以从施加在衬底20上的光刻胶(或者光刻胶溶剂)去除溶剂。在一个或多个实施方式中，真空干燥器10可以包括腔室100、支承销220(或多个支承销)、第一阀410、第二阀420和泵430。真空干燥器10还可以包括支承板210和升降器230。在一个或多个实施方式中，腔室100可以包括基板110和盖120。基板110可以具有平面结构(例如，平坦的板)。盖120可以具有使其下表面在第三方向DR3上(或向上)凹入的结构。例如，在一个或多个实施方式中，盖120可以包括上平面结构(例如，上板)和一个或多个凸缘，其中，一个或多个凸缘围绕上平面结构的外围延伸，并且与第三方向DR3相反地朝向基板110向下延伸。虽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.真空干燥器，包括：/n腔室，配置成提供内部空间；/n支承销，在所述内部空间中靠近所述腔室的底部；/n电源，配置成向所述支承销供应电力；以及/n泵，联接到所述腔室中的所述内部空间。/n

【技术特征摘要】
20190328 KR 10-2019-00361641.真空干燥器，包括：
腔室，配置成提供内部空间；
支承销，在所述内部空间中靠近所述腔室的底部；
电源，配置成向所述支承销供应电力；以及
泵，联接到所述腔室中的所述内部空间。


2.根据权利要求1所述的真空干燥器，还包括：
衬底，在所述内部空间中被干燥，其中，所述支承销直接支承所述衬底；以及
光刻胶，在所述衬底上，其中，所述光刻胶包括具有极性的溶剂。


3.根据权利要求2所述的真空干燥器，其中，所述电力的电压电平是基于所述溶剂的所述极性的大小的，以及
其中，所述电力的所述电压电平配置成随着所述溶剂的所述极性的增加而降低。


4.根据权利要求2所述的真空干燥器，其中，所述衬底的与所述支承销中的一个接触的接触部分的温度高于所述衬底的与所述支承销中的每个间隔开的非接触部分的温度。


5.根据权利要求1所述的真空干燥器，其中，所述支承销中的每个具有圆柱形状、半球形状、锥形形状和针形状中的一种形状。


6.根据权利要求1所述的真空干燥器，其中，所述支承销中的每个包括芯和配置成包围所述芯的壳，
其中，所述芯包括导电材料，以及
其中，所述壳包括绝缘材料。


7.根据权利要求6所述的真空干燥器，其中，所述支承销中的至少一个的热导率是0.3W/mK或更小，
其中，所述电力的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李廷煜，权姸珠，金道玹，金正洙，朴嘉熙，宋河俊，李度润，任训贤，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR