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本实用新型公开了可精细控制温度的晶圆蒸发台，包括真空蒸发器本体与设置在真空蒸发器本体上的真空泵，所述真空泵的外侧设置有吸音机构，所述吸音机构包括直角板与四个金属吸音板，所述直角板上设置有若干凸起筋，且凸起筋上设置有第一六角螺丝，相邻的两个所...
该专利属于嘉兴晶装电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴晶装电子科技股份有限公司授权不得商用。

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