【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例大体上有关于一种用以测试基板的方法与系统。更特别 地，这些实施例有关于一种测试方法与系统，其用以测试在制造平板显示器 中的大面积基板。
技术介绍
平板显示器，例如有源矩阵液晶显示器(liquid crystal display, LCD)，近 来已经取代过去的阴极射线管(cathode ray tube, CRT)而变得普及化。LCD 相对于CRT具有一些优点，包括较高的画面质量、较轻的重量、较低的电 压需求、以及低耗电。显示器在计算机屏幕、手机与电视上具有许多应用， 但是尚有许多应用而不仅于此。LCD制造过程的一部分需要测试平板基板，以决定像素的可操作性。电 压显像、电荷感测、与电子束测试为一些用来在制造过程期间监视与解决缺 陷问题的过程。在典型的电子束测试过程中，监视像素的响应以提供缺陷信 息。在电子束测试的一实例中，施加特定电压至像素，且导引一电子束至待 检测的个别的像素电极。从像素电极区域发射出来的二次电子会被感测，以 决定TFT电压。更大显示器、增加的产能、及更低制造成本的需求已经对于新测试系统 产生了需要，其中该新测试系统可以使用最...
【技术保护点】
一种用于减少至少第一电子束柱与至少第二电子束柱之间的串扰的方法，其中第二电子束柱邻近于第一电子束柱，该方法包含： 提供第一触发事件； 在第一触发事件之后的第一预定时间，用第一电子束柱将第一电子束脉冲发射到基板上； 在第一触发事件之后的第二预定时间，在第一读取窗口中检测来自第一电子束脉冲的第一信号； 提供第二触发事件； 在第二触发事件之后的第三预定时间，用第二电子束柱将第二电子束脉冲发射到基板上；以及 在第二触发事件之后的第四预定时间，在第二读取窗口中检测来自第二电子束脉冲的第二信号，其中第一读取窗口与第二读取窗口占据不同的时间周期。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：R施米特，T施韦德斯，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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