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本发明揭示一种用以减少或消除多个电子束之间串扰的方法与设备。多个电子束在大面积基板上产生多个相邻的测试区域，其中来自一测试区域的二次电子可以在一相邻的测试区域中被检测出。在一实施例中，主要束发射以及来自该主要束的二次电子的检测的定时被控制，...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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