表面检查装置和表面检查头装置制造方法及图纸

技术编号:2619320 阅读:149 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
表面检查装置设有检测部,其中从激光二极管经由光投射光纤向被检查物的内周面照射检查光,并且其反射光强度由设置在光投射光纤组周围的第一受光光纤组、设置在第一受光光纤组外侧的第二受光光纤组以及分别与第一受光光纤组和第二受光光纤组相连的光电探测器来检测。此外,表面检查装置从光电探测器的输出信号中提取与因轴线与圆筒部件的中心线之间的偏差而导致的受光强度的波动对应的频率分量,并且控制激光二极管根据该频率分量与预定基准值之差来改变检查光的强度。另外,表面检查装置的头装置中的保护窗部件的前表面或后表面的至少一个法线方向相对于朝向保护窗部件的检查光的入射光方向而倾斜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对照射到被检查物的表面上的检査光的反射光的强度 进行检测,并基于检测出的反射光的强度对被检査物的表面进行检查的 表面检查装置;用于检查作为被检查物的圆筒体的内周面上出现的诸如 异物(foreign matter)和刮伤之类的缺陷的表面检查装置;或者用于检查 被检査物的表面的表面检查头装置。
技术介绍
一个用于检查圆筒形被检查物的内周面的装置的已知示例是如下的表面检査装置(例如,参照专利文献1):其在围绕轴向旋转轴状检查头 的同时沿轴向送入该轴状检査头,以便将其插入被检查物内部,利用来 自该检查头的外周的检查光来照射被检查物,然后沿着被检査物的轴向 从一端到另一端连续扫描该被检查物的内周面,基于所述扫描通过检查 头来接收被检查物所反射的光,并基于所接收的反射光的强度来判断所 述被检査物的状态,例如是否存在任何缺陷等。此外,在上述类型的表面检查装置中,存在如下这种表面检査装置, 其能够通过向诸如内燃机的汽缸套或缸膛之类的圆筒体的内周面投射检 查光,将被配置成能够接收所述圆筒体的内周面反射的光的棒状检查头 插入所述圆筒体的内部,然后在使所述检査头在围绕其沿纵向延伸的轴 线旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面检查装置,该表面检查装置具有利用来自光源的检查光经由光投射光纤照射被检查物的表面并检测该检查光的反射光的强度的检测装置,并基于所述检测装置的检测结果来检查所述被检查物的表面,其中, 所述检测装置包括: 第一受光光纤组,其 包括多条受光光纤,该第一受光光纤组设置在所述光投射光纤的周围并且能够引导所述反射光; 第二受光光纤组,其包括多条受光光纤,从所述光投射光纤的角度观察,所述第二受光光纤组设置在所述第一受光光纤组的外侧,并且能够引导所述反射光; 第 一光电转换装置,其根据所述第一受光光纤组引导的反射光的强度输出信号;以及 第二光电转换装置,其根...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:深水裕纪子森秀夫
申请(专利权)人:麒麟工程技术系统公司KTS光学株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1