检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序，能够显著提高具有多个工作台的检查装置的检查效率。本发明专利技术的检查装置的操作方法，是在利用显示于多个显示器（１４）的各操作画面上的操作按钮，操作具备多个检查用工作台（１７）的检查装置（１０）中，使用归纳了用于执行检查装置（１０）的各种功能所需的数据的排他条件数据（Ｄ）和将排他条件数据（Ｄ）的排他条件归纳为能否按下用于执行各功能的操作按钮的数据的排他条件类型（Ｐ），在至少一个显示器（１４）上设定用于排除操作按钮的排他条件按钮，按下排他条件按钮禁止在其他显示器中显示至少符合一个显示器的排他条件的画面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序，更详细来说，涉及能 够有效地运用具有多个工作台的检查装置的检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序。
技术介绍
具有多个工作台的检查装置1，如图12所示，具备装载室3，其设置有用于输送半 导体晶片的输送机构2;以及探针室5，其设置有多个(例如4台)用于载置通过输送机构 2输送的半导体晶片的工作台4和分别配置在上述工作台4上方的多个探针卡(未图示)， 在探针室5内使多个工作台4上的半导体晶片的电极焊盘与探针卡的多个探针电接触，进 行半导体晶片的检查。在装载室3内将载置料盒的装载口 6相互分开左右配置，用输送机构2在各装载 口 6上的料盒与多个工作台4之间输送半导体晶片。另外，在装载室3侧和探针室5侧设 有用于监视各室并且操作各室内的设备的显示器(未图示)，并利用上述显示器的显示画 面所显示的操作画面来运用、管理检查装置。显示器的操作画面，能够通过显示在其上的操 作按钮，从上位的操作画面分阶段地切换到下位的操作画面。然后，通过按下显示在各操作 画面上的操作按钮来执行分配给各操作按钮的功能，由此操作设置在装载室3和探针室5 内的各种本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查装置的操作方法，是利用分别显示于多个显示器的操作画面的操作按钮，来操作具备多个检查用工作台的检查装置的方法，其特征在于，具备以下工序：预备排他条件数据和排他条件类型的工序，其中，该排他条件数据是将用于执行上述检查装置的各种功能所需的功能数据归纳为排他条件而成的；该排他条件类型是将上述排他条件归纳为能否按下用于执行上述各功能的操作按钮的数据而成的；在至少一个上述显示器中准备用于符合上述检查装置的运用状况地排除上述操作按钮的排他条件按钮的工序；按下上述排他条件按钮并参照上述排他条件数据和上述排他条件类型，来判定上述排他条件按钮的排他条件的工序；基于上述判定结果，禁止在上述其他显示器中显示符...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐野聪，小嶋伸时，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]