本发明专利技术提供一种检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序，能够显著提高具有多个工作台的检查装置的检查效率。本发明专利技术的检查装置的操作方法，是在利用显示于多个显示器（１４）的各操作画面上的操作按钮，操作具备多个检查用工作台（１７）的检查装置（１０）中，使用归纳了用于执行检查装置（１０）的各种功能所需的数据的排他条件数据（Ｄ）和将排他条件数据（Ｄ）的排他条件归纳为能否按下用于执行各功能的操作按钮的数据的排他条件类型（Ｐ），在至少一个显示器（１４）上设定用于排除操作按钮的排他条件按钮，按下排他条件按钮禁止在其他显示器中显示至少符合一个显示器的排他条件的画面。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序，更详细来说，涉及能 够有效地运用具有多个工作台的检查装置的检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序。
技术介绍
具有多个工作台的检查装置1，如图12所示，具备装载室3，其设置有用于输送半 导体晶片的输送机构2;以及探针室5，其设置有多个(例如4台)用于载置通过输送机构 2输送的半导体晶片的工作台4和分别配置在上述工作台4上方的多个探针卡(未图示)， 在探针室5内使多个工作台4上的半导体晶片的电极焊盘与探针卡的多个探针电接触，进 行半导体晶片的检查。在装载室3内将载置料盒的装载口 6相互分开左右配置，用输送机构2在各装载 口 6上的料盒与多个工作台4之间输送半导体晶片。另外，在装载室3侧和探针室5侧设 有用于监视各室并且操作各室内的设备的显示器(未图示)，并利用上述显示器的显示画 面所显示的操作画面来运用、管理检查装置。显示器的操作画面，能够通过显示在其上的操 作按钮，从上位的操作画面分阶段地切换到下位的操作画面。然后，通过按下显示在各操作 画面上的操作按钮来执行分配给各操作按钮的功能，由此操作设置在装载室3和探针室5 内的各种设备。于是，检查装置1例如图12所示以矩阵状集中配置于清洁室内的检查区域。在横 向排列的多个检查装置之间仅形成微小的间隙。另外，在图12中P是清洁室的柱子。在检查装置1的装载室3侧，配置有必要数量的用于进行从检查开始到结束的操 作的显示器，在检查装置1的探针室5侧只配置有必要数量的用于进行探针室5内的探针 卡更换作业和维护作业等的显示器。与检查装置1相对置配置的装载室3侧的显示器与探 针室5侧的显示器分别分开使用。然而，由于即使有多个显示器但能够操作的显示器也被限制在一处，因此除了操 作中的显示器以外，其他则无法使用。例如，当操作员用探针室5侧的显示器长时间进行让 检查中断的探针卡的交换作业或工作台的维护作业等作业时(以下，以维护作业代表)，由 于在此期间不能操作其他显示器，因此若不将检查装置全部停止，就无法从装载室3侧的 显示器对探针室5内的未进行维护作业的其他工作台进行检查指示，因此存在工作效率降 低的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而做出的，目的在于提供一种检查装置的操作方法以 及检查装置的操作程序，能够在具有多个工作台的检查装置中，禁止某工作台使用着的显 示器用的操作画面本身或者该操作画面内的操作按钮在其他显示器上显示以使其无法操 作，并且能够在其他显示器上不停止其他工作台就继续进行操作，从而能够显著提高检查3装置的工作效率。本专利技术的技术方案1所述的检查装置的操作方法，是利用分别显示于上述多个显 示器的操作画面，操作具备多个显示器和多个检查用工作台的检查装置的方法，其特征在 于，具备以下工序预备排他条件数据和排他条件类型的工序，其中，该排他条件数据是将 用于执行上述检查装置的多种功能所需的功能数据归纳为排他条件而成的；该排他条件类 型是将上述排他条件归纳为能否按下用于执行上述各功能的操作按钮的数据而成的；在至 少一个上述显示器中准备用于符合上述检查装置的运用状况地排除上述操作按钮的排他 条件按钮的工序；按下上述排他条件按钮并参照上述排他条件数据和上述排他条件类型来 判定上述排他条件按钮的排他条件的工序；基于上述判定结果，禁止在上述其他显示器中 显示符合上述至少一个显示器的排他条件的画面的工序。另外，本专利技术的技术方案2所述的检查装置的操作方法，是在技术方案1所述的 专利技术的基础上，其特征在于，上述显示器显示有分别分配给上述各工作台的多个工作台画 面、和上述工作台画面以外的主画面。另外，本专利技术的技术方案3所述的检查装置的操作方法，是在技术方案2所述的发 明的基础上，其特征在于，分别在上述工作台画面和上述主画面上显示操作模式，上述操作 模式由用于检查上述半导体晶片的操作员模式、和用于停止上述工作台进行规定作业的系 统模式构成。 另外，本专利技术的技术方案4所述的检查装置的操作方法，是在技术方案3所述的发 明的基础上，其特征在于，在上述显示器上显示出上述系统模式时，则在上述其他显示器上 不显示上述系统模式。另外，本专利技术的技术方案5所述的检查装置的操作程序，是用于为了检查半导体 晶片的电气特性而操作具有多个工作台的检查装置所使用的程序，其特征在于，驱动计算 机来执行技术方案1至4中任意一项所述的检查装置的操作方法。根据本专利技术，能够提供一种检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序，在具 有多个工作台的检查装置中，禁止某工作台使用着的显示器用的操作画面本身或者该操作 画面内的操作按钮在其他显示器上显示以便使其无法操作，并且能够在其他显示器上不停 止其他工作台就继续进行操作，从而能够显著提高检查装置的工作效率。附图说明图1是表示应用本专利技术的检查装置的操作方法的检查装置的一个例子的俯视图。图2(a)、(b)分别是表示显示于图1所示的显示器上的操作画面的图。图3是表示本专利技术的检查装置的操作方法的一个实施方式的示意图。图4是表示在用于执行图1所示的检查装置的操作方法的显示器上显示的操作按 钮的按下条件类型的图。图5(a)、(b)分别是表示用图4表示的数据表设定的画面排他条件设定数据的图。图6是用于设定图5所示的画面排他条件设定数据的流程图。图7是用于参照图5所示的排他条件类型的流程图。图8是用于进行排他条件判定处理的流程图。图9是表示图8所示的排他条件判定处理的一部分工序的流程图。图10是表示图8所示的排他条件判定处理的另一部分工序的流程图。图11是表示图8所示的排他条件判定处理的又一部分工序的流程图。图12是表示配置了多个现有的检查装置的状态的俯视图。图中符号说明如下10...检查装置；13...控制装置(计算机)；14...显示器；14A...主画面；HA^ 14A2...操作按钮；14B...工作台画面；14B2...操作按钮；17...工作台。具体实施例方式下面，基于图1 图12所示的实施方式说明本专利技术。首先，对应用本专利技术的检查装置的操作方法的检查装置进行说明。例如图1所示， 该检查装置10具备输送半导体晶片的装载室11、进行半导体晶片的电气特性检查的探针 室12、控制装载室11和探针室12的各设备的控制装置13、操作并监视装载室11和探针室 12的各设备的显示器14，并且通过按下显示器14的操作画面所显示的操作按钮使控制装 置13工作，操作装载室11和探针室12的各设备来进行半导体晶片的电气特性检查。装载室11具备以料盒为单位配置半导体晶片的左右两处的装载口 15、在上述装 载口 15上的料盒与探针室12之间输送半导体晶片的晶片输送机构16，晶片输送机构16构 成为在分别配置于装载口 15上的料盒(未图示)与探针室12之间输送半导体晶片。探针室12具备沿着装载室11配置的四台工作台17、配置在各工作台17各自的 上方的四处的探针卡(未图示)、对工作台17上的半导体晶片的电极焊盘和探针卡的多个 探针进行校准的校准机构(未图示)，并且构成为各工作台17载置半导体晶片在规定的范 围内在水平方向和上下方向上移动。对探针室12来说构成为进行过工作台17上的半导体 晶片和探针卡的校准后，使各工作台17上的半导体晶片的电极焊盘本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种检查装置的操作方法，是利用分别显示于多个显示器的操作画面的操作按钮，来操作具备多个检查用工作台的检查装置的方法，其特征在于，具备以下工序：预备排他条件数据和排他条件类型的工序，其中，该排他条件数据是将用于执行上述检查装置的各种功能所需的功能数据归纳为排他条件而成的；该排他条件类型是将上述排他条件归纳为能否按下用于执行上述各功能的操作按钮的数据而成的；在至少一个上述显示器中准备用于符合上述检查装置的运用状况地排除上述操作按钮的排他条件按钮的工序；按下上述排他条件按钮并参照上述排他条件数据和上述排他条件类型，来判定上述排他条件按钮的排他条件的工序；基于上述判定结果，禁止在上述其他显示器中显示符合上述至少一个显示器的排他条件的画面的工序。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐野聪，小嶋伸时，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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