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表面检查装置设有检测部,其中从激光二极管经由光投射光纤向被检查物的内周面照射检查光,并且其反射光强度由设置在光投射光纤组周围的第一受光光纤组、设置在第一受光光纤组外侧的第二受光光纤组以及分别与第一受光光纤组和第二受光光纤组相连的光电探测器来...该专利属于麒麟工程技术系统公司;KTS光学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过麒麟工程技术系统公司;KTS光学株式会社授权不得商用。
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表面检查装置设有检测部,其中从激光二极管经由光投射光纤向被检查物的内周面照射检查光,并且其反射光强度由设置在光投射光纤组周围的第一受光光纤组、设置在第一受光光纤组外侧的第二受光光纤组以及分别与第一受光光纤组和第二受光光纤组相连的光电探测器来...