观察装置和观察方法以及检查装置和检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种观察装置和观察方法以及检查装置和检查方法。本发明专利技术的检查装置具有：摄像部（３０），拍摄被检测物中的第一范围以及相对于该第一范围向预定方向偏移的第二范围；差分处理部（４４），得到第一范围的图像和第二范围的图像在上述预定方向上对应的部分的信号的差分；和检查部（４６），根据差分处理部（４４）的处理结果，检查被检测物中有无缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对半导体晶圆、液晶玻璃基板等被检测物的观察装置和观察方法、以及检查装置和检查方法。
技术介绍
近年来，在半导体晶圆上形成的电路元件图案的集成度变高，并且在半导体制造 工序中晶圆的表面处理所使用的薄膜的种类增加。随之，薄膜的边界部分露出的晶圆的端 部附近的缺陷检查变得重要。若在晶圆的端部附近存在异物等缺陷，则在之后的工序中异 物等会进入晶圆的表面侧而带来不良影响，从而对由晶圆制作的电路元件的成品率产生影 响。因此，提出了以下检查装置(参照专利文献1):从多个方向观察半导体晶圆等形成为圆盘状的被检测物的端面周边(例如顶端及上下的斜面)，检查有无异物、膜的剥离、膜内的气泡、膜的蔓延等缺陷。在这种检查装置中包括以下结构的装置等利用通过激光等的照射而产生的散射光检测异物等的结构的装置；通过线传感器将被检测物的图像形成为带状而检测异物等的结构的装置等。 专利文献1 :JP特开2004-325389号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题 此外，还具有通过图像取得装置局部地逐张取得被检测物的端面周边的图像并根 据多个图像数据检测异物等的结构的装置，但若使用具有能够识别小缺陷的高分辨率的图 像取得装置，则图像取得张数(图像数据)变得非常多，例如用10倍的物镜进行端面(顶 端)的观察时，图像取得张数为1400张左右。为了从这样大量的图像数据仅提取包含被检 测物的缺陷的图像数据，而逐张确认所有的图像时，非常耗费时间。 本专利技术鉴于这种问题，其目的在于提供一种能够容易地进行包含被检测物的缺陷 的图像的提取的观察装置和观察方法、以及检查装置和检查方法。 用于解决问题的手段 为了实现上述目的，本专利技术的观察装置包括摄像部，拍摄被检测物中的第一范围 以及相对于上述第一范围向预定方向偏移的第二范围；差分处理部，得到上述第一范围的 图像和上述第二范围的图像在上述预定方向上对应的部分的信号的差分；和显示部，显示 上述差分处理部的处理结果。 另外，在上述观察装置中优选，上述差分处理部使构成上述第一范围的图像的多 个部分和构成上述第二范围的图像的多个部分在上述预定方向上对应，并得到各自的差 分。 此外，在上述观察装置中优选，还具有相对移动部，使上述被检测物相对于上述摄 像部向上述预定方向相对移动，上述摄像部根据上述相对移动而向上述预定方向连续地拍摄上述被检测物。 进而优选，上述相对移动部将形成为大致圆盘状的上述被检测物的旋转对称轴作 为旋转轴，以使上述被检测物的外周端部相对于上述摄像部的相对旋转方向为上述预定方 向的方式旋转驱动上述被检测物，上述摄像部从与上述旋转轴正交的方向或平行的方向中 的至少一个方向，连续地拍摄上述被检测物的外周端部或该外周端部附近的与该外周端部 相连的部分。 进而优选，上述摄像部在上述被检测物的全周进行上述拍摄。或者，上述摄像部也 可以在上述被检测物的圆周的一部分进行上述拍摄。 此外，在上述观察装置中优选，具有直方图制作部，用于制作表示由上述差分处理 部得到的上述差分的值和与得到上述差分的图像对应的上述被检测物中的位置之间的关 系的直方图。 进而优选，能够根据上述直方图显示得到上述差分的图像。 此外，在上述观察装置中优选，上述摄像部具有用于对上述被检测物进行上述拍 摄的线传感器，上述线传感器相对于上述被检测物向上述预定方向相对移动的同时连续地 拍摄上述被检测物。 进而优选，上述线传感器拍摄上述被检测物的端部或端部附近的明场像。 此外，在上述观察装置中优选，具有摄像位置设定部，用于设定上述线传感器相对于上述被检测物的相对移动范围。 此外，在上述观察装置中优选，上述摄像部具有用于拍摄上述被检测物的二维像 的二维摄像器，上述显示部根据上述差分处理部的上述处理结果来设定上述二维摄像器的 摄像范围。 此外，本专利技术的检查装置包括摄像部，拍摄被检测物中的第一范围以及相对于上 述第一范围向预定方向偏移的第二范围；差分处理部，得到上述第一范围的图像和上述第 二范围的图像在上述预定方向上对应的部分的信号的差分；和检查部，根据上述差分处理 部的处理结果，检查上述被检测物。 另外，在上述检查装置中优选，上述差分处理部使构成上述第一范围的图像的多 个部分和构成上述第二范围的图像的多个部分在上述预定方向上对应，并得到各自的差 分。 此外，在上述检查装置中优选，还具有显示上述差分处理部的处理结果的显示部。 此外，在上述检查装置中优选，具有直方图制作部，用于制作表示由上述差分处理 部得到的上述差分的值和与得到上述差分的图像对应的上述被检测物中的位置之间的关 系的直方图。 进而优选，上述检查部在由上述差分处理部得到的上述差分的值大于预定的阈值 时判定为存在上述缺陷，并且根据由上述直方图制作部制作出的上述直方图来确定上述缺 陷的位置。 此外，在上述检查装置中优选，上述摄像部具有用于对上述被检测物进行上述拍 摄的线传感器，上述线传感器相对于上述被检测物向上述预定方向相对移动的同时连续地 拍摄上述被检测物。 进而优选，上述摄像部具有用于拍摄上述被检测物的二维像的二维摄像器，上述显示部根据上述检查部进行的上述检查的结果来设定上述二维摄像器的摄像范围。 进而优选，具有记录部，用于记录由上述二维摄像器拍摄的反映上述缺陷的二维图像，上述检查部根据基于记录在上述记录部中的上述二维图像而分类的上述缺陷的种类，由通过上述差分处理部得到的上述差分的值来判别上述缺陷的种类。 进而优选，上述检查部根据由上述差分处理部得到的上述差分而提取颜色信息，并根据提取出的上述颜色信息检查有无预定的干涉色，从而检查有无因形成于上述被检测物上的薄膜引起的上述缺陷。 此外，本专利技术的观察方法包括摄像处理，拍摄被检测物中的第一范围以及相对于 上述第一范围向预定方向偏移的第二范围；差分处理，得到上述第一范围的图像和上述第 二范围的图像在上述预定方向上对应的部分的信号的差分；和显示处理，显示上述差分处 理的处理结果。 另外，在上述观察方法中优选，在上述差分处理中，使构成上述第一范围的图像的 多个部分和构成上述第二范围的图像的多个部分在上述预定方向上对应，并得到各自的差 分。 此外，本专利技术的检查方法包括摄像处理，拍摄被检测物中的第一范围以及相对于 上述第一范围向预定方向偏移的第二范围；差分处理，得到上述第一范围的图像和上述第 二范围的图像在上述预定方向上对应的部分的信号的差分；和检查处理，根据上述差分处 理的处理结果，检查上述被检测物。 另外，在上述检查方法中优选，在上述差分处理中，使构成上述第一范围的图像的 多个部分和构成上述第二范围的图像的多个部分在上述预定方向上对应，并得到各自的差 分。 此外，在上述检查方法中优选，在上述检查处理中，在由上述差分处理得到的上述 差分的值大于预定的阈值时判定为存在上述缺陷。 进而，在上述检查方法中优选，用于进行上述摄像处理的摄像部具有用于拍摄上 述被检测物的二维图像传感器和线传感器，根据对由上述线传感器拍摄的上述被检测物的 图像进行的上述差分处理的处理结果，进行上述检查处理，该检查方法还具有阈值设定处 理，求出通过对由上述二维图像传感器拍摄的上述被检测物的图像进行的上述差分处理而 得到的上述差分的值、和能够在由上述二维图像传感器拍摄的上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种观察装置，其特征在于，包括：摄像部，拍摄被检测物中的第一范围以及相对于上述第一范围向预定方向偏移的第二范围；差分处理部，得到上述第一范围的图像和上述第二范围的图像在上述预定方向上对应的部分的信号的差分；和显示部，显示上述差分处理部的处理结果。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂口直史，高桥正史，渡部贵志，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：JP[日本]