多用途高精度移载设备及其使用方法技术

技术编号:26175948 阅读:46 留言:0更新日期:2020-10-31 14:12
本发明专利技术涉及多用途高精度移载设备及其使用方法,包括工作平台,工作平台上从左至右依次设置有治具工位、料盒工位和晶元工位,位于料盒工位和治具工位之间的工作平台上安装有预置平台;工作平台上还安装有支撑架,支撑架横跨于治具工位、料盒工位和晶元工位上方,支撑架上沿着长度方向安装有Y轴线性导轨,Y轴线性导轨上移动安装有焊头组件;焊头组件将晶元工位上的晶元移载至料盒工位,或者是焊头组件将料盒工位上的芯片移载至治具工位;本发明专利技术的移载设备适用于芯片或是晶元的移载,自动化程度高,移载速率和移载效率高,大大助力于芯片或晶元的移载工作,适用性强,用途广,并且,设备整体布局紧凑,占地面积小,实用性佳。

【技术实现步骤摘要】
多用途高精度移载设备及其使用方法
本专利技术涉及芯片组装
,尤其是一种多用途高精度移载设备及其使用方法。
技术介绍
在半导体制造领域,尤其是芯片的封装和测试过程中,晶元和芯片经常需要更换到不同的料盒或治具中。晶元通常位于晶元环的蓝膜上,而芯片则位于料盒中,通过移载,将晶元摆放至新的料盒中,将芯片摆放至新的治具中;该种移载一般通过人工手动夹取、转移的方式,将芯片或者晶元移动摆放到不同的治具、料盒中,该种方式容易造成芯片损坏,且生产效率低。现有技术中,移载设备通常仅适用于晶元或是芯片,单个品种的移载,适用性低;另一方面,工厂生产出的芯片通常按阵列排布于载具的凝胶材料上,凝胶材料具有不同等级的吸附力;现有夹具的夹取极易导致芯片拾取失败或是造成芯片的破损,大大影响了生产效率,影响了工厂的正常生产。
技术实现思路
本申请人针对上述现有生产技术中的缺点,提供一种结构合理的多用途高精度移载设备及其使用方法,从而适用于芯片或晶元的移载,自动化程度高,大大提升了移载速率和效率,适应性好,并且设备整体占地面积小,实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多用途高精度移载设备,包括工作平台(1),其特征在于:所述工作平台(1)上从左至右依次设置有治具工位、料盒工位和晶元工位,位于料盒工位和治具工位之间的工作平台(1)上安装有预置平台(11);所述工作平台(1)上还安装有支撑架(5),支撑架(5)横跨于治具工位、料盒工位和晶元工位上方,支撑架(5)上沿着长度方向安装有Y轴线性导轨(4),Y轴线性导轨(4)上移动安装有焊头组件(3)。/n

【技术特征摘要】
1.一种多用途高精度移载设备,包括工作平台(1),其特征在于:所述工作平台(1)上从左至右依次设置有治具工位、料盒工位和晶元工位,位于料盒工位和治具工位之间的工作平台(1)上安装有预置平台(11);所述工作平台(1)上还安装有支撑架(5),支撑架(5)横跨于治具工位、料盒工位和晶元工位上方,支撑架(5)上沿着长度方向安装有Y轴线性导轨(4),Y轴线性导轨(4)上移动安装有焊头组件(3)。


2.如权利要求1所述的多用途高精度移载设备,其特征在于:所述工作平台(1)上平行间隔安装有X轴线性导轨一(10)和X轴线性导轨二(13),X轴线性导轨二(13)上移动安装有治具组件(12)构成治具工位,X轴线性导轨一(10)上移动安装有料盒组件(9)构成料盒工位;所述工作平台(1)上安装有晶元旋转移动机构(6),晶元旋转移动机构(6)下方配合安装有顶晶机构(8),构成晶元工位。


3.如权利要求2所述的多用途高精度移载设备,其特征在于:所述晶元旋转移动机构(6)的结构为:包括从下至上间隔平行设置的下层平台(66)、中层平台(63)和上层平台(62),所述下层平台(66)底面与工作平台(1)固装,下层平台(66)和中层平台(63)之间安装有X向移动组件(65),中层平台(63)和上层平台(62)之间安装有Y向移动组件(64),上层平台(62)上安装有转动组件(61);所述顶晶机构(8)向上依次贯穿下层平台(66)、中层平台(63)和上层平台(62),顶晶机构(8)顶部的顶针组件(814)从下至上穿至转动组件(61)的内部。


4.如权利要求3所述的多用途高精度移载设备,其特征在于:所述转动组件(61)的结构为:包括固装于上层平台(62)侧面的转动电机(611),转动电机(611)的输出端朝上并在端部安装有主动轮(612);所述上层平台(62)中部转动安装有大带轮(614),主动轮(612)和大带轮(614)之间通过同步带(615)衔接,紧贴同步带(615)外侧面对称安装有张紧轮(613);所述大带轮(614)顶部安装有晶元座(616),晶元座(616)上安装晶元环;所述上层平台(62)中部开有大圆孔,大带轮(614)、晶元座(616)均为环形结构,顶针组件(814)向上依次穿过大圆孔、大带轮(614)和晶元座(616),顶针组件(814)的顶端位于晶元座(616)内侧;
位于大圆孔圆周外部的上层平台(62)底面间隔均匀安装有多个轮架(618),单个轮架(618)上均安装有限位轮(619),多个限位轮(619)之间共同安装有随转轮(617),所述随转轮(617)位于大圆孔内侧的下方,随转轮(617)顶部与大带轮(614)底部固定安装;所述随转轮(617)为环形结构,随转轮(617)外圆周面的中部向外延伸有凸缘,每个限位轮(619)的轴向均为与上层平台(62)底面相垂直的纵向,限位轮(619)圆周面的中部均设置有凹槽,凹槽嵌装配合于凸缘处。


5.如权利要求3所述的多用途高精度移载设备,其特征在于:所述X向移动组件(65)的结构为:包括固装于下层平台(66)上的X向电机(651),X向电机(651)的输出端经皮带传动机构(652)衔接安装有X向丝杆(653),X向丝杆(653)上配合套装有X向螺母(654);所述X向丝杆(653)两端均安装有X向丝杆座(657),两个X向丝杆座(657)固装于下层平台(66)上;所述下层平台(66)上还间隔安装有X向导轨-滑块组合(655),X向导轨-滑块组合(655)中的导轨固装于下层平台(66)上,且该导轨与X向丝杆(653)平行,X向导轨-滑块组合(655)的滑块上安装有X向滑移块(656),X向滑移块(656)和X向螺母(654)均与中层平台(63)底面固装;
所述Y向移动组件(64)的结构为:包括固装于中层平台(63)上的Y向移动电机(643),Y向移动电机(643)输出端安装有Y向丝杆(645),Y向丝杆(645)上配合套装有Y向螺母(644);所述Y向丝杆(645)两端均安装有Y向丝杆座(646),两个Y向丝杆座(646)固装于中层平台(63)上;所述中层平台(63)上还间隔安装有Y向导轨-滑块组合(641),Y向导轨-滑块组合(641)中的导轨固装于中层平台(63)上,且该导轨与Y向丝杆(645)平行,Y向导轨-滑块组合(641)的滑块上安装有Y向滑移块(642),Y向滑移块(642)和Y向螺母(644)均与上层平台(62)底面固装。


6.如权利要求2所述的多用途高精度移载设备,其特征在于:所述顶晶机构(8)的结构为:包括与工作平台(1)固装的支撑座(804),支撑座(804)侧面安装有Z向导轨-滑块组合一(803),Z向导轨-滑块组合一(803)的导轨竖直固装于支撑座(804)侧面,Z向导轨-滑块组合一(803)的滑块上固装有直角座(805);所述支撑座(804)侧面的底部固装有顶晶电机(801),顶晶电机(801)输出端朝上并在端部衔接安装有顶晶丝杆(802),顶晶丝杆(802)与Z向导轨-滑块组合一(803)的导轨相互平行,顶晶丝杆(802)上配合套装有Z向螺母,Z向螺母与直角座(805)竖直面固装;所述直角座(805)顶面安装有XY向移动组件(806),XY向移动组件(806)上安装有平板(813),平板(813)顶面安装有顶针组件(814);所述平板(813)侧面固装有立板(809),立板(809)侧面安装有Z向导轨-滑块组合二(808),Z向导轨-滑块组合二(808)的滑块与立板(809)侧面固装,Z向导轨-滑块组合二(808)的导轨固装于立座(807)上,...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴超曾义徐金万汪凡强宁
申请(专利权)人:恩纳基智能科技无锡有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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