一种静电卡盘及其制备方法技术

技术编号:26175944 阅读:47 留言:0更新日期:2020-10-31 14:12
本发明专利技术公开一种静电卡盘,其包括陶瓷基体,所述陶瓷基体埋设有静电电极和加热电极,所述静电电极和加热电极在陶瓷基体中具有高度差,所述陶瓷基体和静电电极、加热电极一次烧结成型。本发明专利技术还公开了上述静电卡盘的制备方法。与现有技术相比,本发明专利技术的静电卡盘的加热电极和静电电极是埋伏在陶瓷基体内且一次烧结成型的,避免了多次烧结带来的材料尺寸差异和内部组织恶化,实现分区加热和控温,达到升温效率高,温度均匀性高的指标。

【技术实现步骤摘要】
一种静电卡盘及其制备方法
本专利技术涉及静电卡盘
,特别是涉及一种静电卡盘及其制备方法。
技术介绍
静电卡盘是利用静电吸附原理将待加工晶片吸附在其表面并且可以通过背吹气体来控制晶片表面温度的设备。在集成电路制造工艺中,特别是刻蚀工艺中,为了避免晶片出现移动或者错位现象而导致工艺过程无法正常进行,多采用静电卡盘对晶片进行固定、支撑。伴随关键尺寸值均匀性变得越来越重要,静电卡盘的温度均匀性和温控功能性期望值增加。现有技术中,静电卡盘的具有吸附功能的陶瓷部件与具有加热功能的加热部件是分开制造后,采用胶水粘接在一起,加热部件本身可以精确控温。该静电卡盘的加热部件使用树脂片夹加热电极构成。实践中发现,该静电卡盘的表面径向温度差异明显。而且,树脂片长时间服役在真空高腐蚀性环境中,容易受到腐蚀而被破坏,即使采用多种手段改善破坏程度,效果并不明显。现有技术中,为了解决树脂片所带来的径向温度差异、容易被腐蚀破坏的缺陷,采用陶瓷材料替换树脂片,将加热电极嵌入陶瓷材料内部,烧结形成加热陶瓷部件,再与具有吸附功能的陶瓷部件粘接集成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电卡盘,其特征在于:包括陶瓷基体,所述陶瓷基体埋设有静电电极和加热电极,所述静电电极和加热电极在陶瓷基体中具有高度差,所述陶瓷基体和静电电极、加热电极一次烧结成型。/n

【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘,其特征在于:包括陶瓷基体,所述陶瓷基体埋设有静电电极和加热电极,所述静电电极和加热电极在陶瓷基体中具有高度差,所述陶瓷基体和静电电极、加热电极一次烧结成型。


2.根据权利要求1所述的静电卡盘,其特征在于:所述加热电极为多个,多个所述加热电极分布在所述陶瓷基体中的同一高度平面。


3.根据权利要求2所述的静电卡盘,其特征在于:多个所述加热电极彼此不相交。


4.根据权利要求2所述的静电卡盘,其特征在于:所述加热电极呈线圈状,多个所述加热电极在所述陶瓷基体中形成一组同心圆。


5.根据权利要求1所述的静电卡盘,其特征在于:所述静电卡盘还包括金属基体,所述金属基体设有流体通道,所述金属基体粘接在所述陶瓷基体的加热电极的下方。


6.根据权利要求1所述的静电卡盘,其特征在于:在所述陶瓷基体和金属基体之间还设有阻热...

【专利技术属性】
技术研发人员:张玉利杨鹏远王建冲侯占杰王超星黎远成何宏庆樊文凤唐娜娜
申请(专利权)人:北京华卓精科科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:北京;11

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