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本发明公开一种静电卡盘，其包括陶瓷基体，所述陶瓷基体埋设有静电电极和加热电极，所述静电电极和加热电极在陶瓷基体中具有高度差，所述陶瓷基体和静电电极、加热电极一次烧结成型。本发明还公开了上述静电卡盘的制备方法。与现有技术相比，本发明的静电卡盘...
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