高准确率的Bar条预扫方法及系统技术方案

本发明专利技术涉及一种高准确率的Bar条预扫方法及系统。其包括：对所提供的Bar条晶圆粗扫描，以在粗扫描后生成Bar条粗扫描信息，基于Bar条粗扫描信息对Bar条晶圆精扫描，以在精扫描后生成Bar条精扫描信息，基于Bar条精扫描信息对Bar条晶圆内的芯片进行OCR识别，以在OCR识别后生成整盘晶圆OCR信息，对上述生成的整盘晶圆OCR信息进行检验配对，并在检验配对通过后，基于芯片晶圆地图资料以及由上述整盘晶圆OCR信息与Bar条精扫描信息形成的预扫基准信息合并，以在合并后生成贴片生产用的取片预扫基准信息。本发明专利技术能适于Bar条的芯片取片信息的获取，满足Bar条产品的取片需求。满足Bar条产品的取片需求。满足Bar条产品的取片需求。

【技术实现步骤摘要】
高准确率的Bar条预扫方法及系统


[0001]本专利技术涉及一种Bar条预扫方法及系统，尤其是一种高准确率的Bar条预扫方法及系统。

技术介绍

[0002]对晶圆内的芯片取片时，为了提高取片的可靠性，一般需要对晶圆进行扫描。由于晶圆的实物信息与晶圆的地图资料存在映射关系，且待取片的芯片来自于同一张晶圆，芯片在同一晶圆上的行列间距固定，因此，只需按预设步距扫描整张晶圆，将扫描结果结合地图资料的映射关系即可提取每颗芯片的芯片取片信息，其中，芯片的芯片取片信息包括映射坐标、字符信息和/或BIN值；芯片取片信息内的字符信息，一般由4
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6位字母加数字组合而成，如AB11，T4532等，主要用于标识并区别每颗芯片；芯片取片信息内的BIN值主要用于定义当前芯片的等级，并可作为对当前芯片的取放依据。
[0003]芯片生产过程中，一般可通过裂片机可将晶圆裂片为一根根Bar条，Bar条是由多个芯片并排形成的单条，裂片机将Bar条再进行裂片，最终可形成一个个的芯片。
[0004]面向Bar条产品时，由于Bar条产品一般为矩形长条状，宽长比约为1：50。将若干Bar条阵列摆放在Bar条晶圆上时，可能存在Bar条角度偏转等情况，因此，采用传统的预扫并结合地图资料的映射关系时，存在无法正确提取芯片的芯片取片信息的情况，也即无法满足Bar条产品的取片需求。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种高准确率的Bar条预扫方法及系统，其能适于Bar条的芯片取片信息的获取，满足Bar条产品的取片需求。
[0006]按照本专利技术提供的技术方案，一种高准确率的Bar条预扫方法，所述Bar条预扫方法包括：提供摆放有Bar条的Bar条晶圆，其中，Bar条在Bar条晶圆上呈阵列分布；对所提供的Bar条晶圆粗扫描，以在粗扫描后生成Bar条粗扫描信息，其中，所述Bar条粗扫描信息包括每根Bar条在Bar条晶圆上的分布位置以及每根Bar条的粗扫长度；基于Bar条粗扫描信息对Bar条晶圆精扫描，以在精扫描后生成Bar条精扫描信息，其中，所述Bar条精扫描信息包括每根Bar条内每个芯片的坐标位置信息，所述坐标位置信息包括每个芯片的坐标位置以及偏转角度；基于Bar条精扫描信息对Bar条晶圆内的芯片进行OCR识别，以在OCR识别后生成整盘晶圆OCR信息，所述整盘晶圆OCR信息包括若干芯片的识别OCR信息以及若干芯片的推算OCR信息，其中，利用OCR识别相机识别每根Bar条内前N颗芯片的芯片字符信息，以得到前N颗芯片相应的识别OCR信息，其中，N≥3；
基于所识别前N颗芯片相应的芯片OCR信息，确定当前Bar条内芯片的芯片字符信息排序；基于所确定当前Bar条内芯片的字符信息排序，推算当前Bar条内其余芯片的字符信息，以生成其余芯片相对应的推算OCR信息；基于上述的识别OCR信息以及推算OCR信息，以生成当前Bar条的OCR信息；基于所有Bar条的OCR信息，生成整盘晶圆OCR信息；对上述生成的整盘晶圆OCR信息进行检验配对，并在检验配对通过后，基于芯片晶圆地图资料以及由上述整盘晶圆OCR信息与Bar条精扫描信息形成的预扫基准信息合并，以在合并后生成贴片生产用的取片预扫基准信息。
[0007]对Bar条晶圆粗扫描并生成Bar条粗扫描信息时，包括：对Bar条晶圆，确定所述Bar条晶圆上Bar条的Bar条最大长度bar_length以及同一行两个相邻Bar条间的间距bar_step，并基于所确定的Bar条最大长度bar_length与间距bar_step，配置初始扫描位置以及对Bar条晶圆的扫描范围；基于预设的扫描方式在上述配置的扫描范围内对Bar条晶圆扫描，以在扫描后确定每根Bar条的分布位置以及粗扫长度，并基于所确定每根Bar条的分布位置以及粗扫长度生成Bar条粗扫描信息。
[0008]基于预设的扫描方式对Bar条晶圆扫描时，包括：对Bar条晶圆上的Bar条进行逐行扫描，其中，每行Bar条扫描时，每行的起始扫描位置均与所配置的初始扫描位置对应；对每根Bar条粗扫描时，每根Bar条的粗扫描信息还包括每根Bar条内真实首颗芯片real_first_chip的位置以及真实最后一颗芯片real_last_chip的位置。
[0009]对每根Bar条粗扫描时，每根Bar条内的Bar条芯片逐步进入粗扫描时的相机视野范围，对相机视野范围内的Bar条扫描后生成一芯片扫描图像，其中，基于一次扫描后生成的芯片扫描图像，确定当前芯片扫描图像内的临时首颗芯片First_chip以及临时最后一颗芯片temp_chip_A，计算临时首颗芯片First_chip与临时最后一颗芯片temp_chip_A之间所有两个相邻Bar条芯片之间的相邻芯片间距temp_chip_step，并将计算所有的相邻芯片间距temp_chip_step与间距bar_step比较，其中，当所述相邻芯片间距temp_chip_step小于间距bar_step时，则沿扫描前进方向上对当前Bar条继续扫描，直至所述相邻芯片间距temp_chip_step大于间距bar_step或扫描到达扫描范围的边界；芯片扫描图像与起始扫描位置正对应时，则将所述芯片扫描图像内的临时首颗芯片First_chip配置为真实首颗芯片real_first_chip；相邻芯片间距temp_chip_step大于间距bar_step时，确定当前Bar条内的真实最后一颗芯片real_last_chip，以及下一Bar条内的真实首颗芯片real_first_chip。
[0010]对每根Bar条精扫描时，以每根Bar条内的真实首颗芯片real_first_chip作为起始点，直至扫描到真实最后一颗芯片real_last_chip，其中，以Bar条晶圆所在的晶圆台的原点为原点构建晶圆扫描坐标系，其中，以正对晶圆台向右方向作为X轴的正向，以晶圆台的向前方向作为Y轴的正方形，以X轴的正方形作为角度0
°
；
对每根Bar条内芯片扫描时，基于所构建的晶圆扫描坐标系，确定每颗Bar条芯片的坐标位置以及偏转角度。
[0011]在推算Bar条内其余芯片的字符信息时，对Bar条内的芯片空缺区域检测，其中，若检测存在芯片空缺区域，在推算字符信息时，按字符信息排序，确定所述芯片空缺区域的推算OCR信息，且对所述芯片空缺区域配置一预设Bin值。
[0012]对生成的整盘晶圆OCR信息进行检验配对时，包括：基于每根Bar条的芯片字符信息生成字符格式信息，并将所生成的字符格式信息与基于芯片晶圆地图资料读取的初始字符格式对比，当所生成的字符格式与所读取的初始字符格式相一致时，则校验配对预通过；校验配对预通过后，对每根Bar条，任取所述当前Bar条内若干的芯片，基于所取芯片的位置，利用OCR识别相机识别所述芯片的芯片字符识别第一信息，并在整盘晶圆OCR信息内提取所述芯片的芯片字符识别第二信息；当芯片字符识别第一信息与芯片字符识别第二信息匹配时，则校验配对通过。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高准确率的Bar条预扫方法，其特征是，所述Bar条预扫方法包括：提供摆放有Bar条的Bar条晶圆，其中，Bar条在Bar条晶圆上呈阵列分布；对所提供的Bar条晶圆粗扫描，以在粗扫描后生成Bar条粗扫描信息，其中，所述Bar条粗扫描信息包括每根Bar条在Bar条晶圆上的分布位置以及每根Bar条的粗扫长度；基于Bar条粗扫描信息对Bar条晶圆精扫描，以在精扫描后生成Bar条精扫描信息，其中，所述Bar条精扫描信息包括每根Bar条内每个芯片的坐标位置信息，所述坐标位置信息包括每个芯片的坐标位置以及偏转角度；基于Bar条精扫描信息对Bar条晶圆内的芯片进行OCR识别，以在OCR识别后生成整盘晶圆OCR信息，所述整盘晶圆OCR信息包括若干芯片的识别OCR信息以及若干芯片的推算OCR信息，其中，利用OCR识别相机识别每根Bar条内前N颗芯片的芯片字符信息，以得到前N颗芯片相应的识别OCR信息，其中，N≥3；基于所识别前N颗芯片相应的芯片OCR信息，确定当前Bar条内芯片的芯片字符信息排序；基于所确定当前Bar条内芯片的字符信息排序，推算当前Bar条内其余芯片的字符信息，以生成其余芯片相对应的推算OCR信息；基于上述的识别OCR信息以及推算OCR信息，以生成当前Bar条的OCR信息；基于所有Bar条的OCR信息，生成整盘晶圆OCR信息；对上述生成的整盘晶圆OCR信息进行检验配对，并在检验配对通过后，基于芯片晶圆地图资料以及由上述整盘晶圆OCR信息与Bar条精扫描信息形成的预扫基准信息合并，以在合并后生成贴片生产用的取片预扫基准信息。2.根据权利要求1所述的高准确率的Bar条预扫方法，其特征是，对Bar条晶圆粗扫描并生成Bar条粗扫描信息时，包括：对Bar条晶圆，确定所述Bar条晶圆上Bar条的Bar条最大长度bar_length以及同一行两个相邻Bar条间的间距bar_step，并基于所确定的Bar条最大长度bar_length与间距bar_step，配置初始扫描位置以及对Bar条晶圆的扫描范围；基于预设的扫描方式在上述配置的扫描范围内对Bar条晶圆扫描，以在扫描后确定每根Bar条的分布位置以及粗扫长度，并基于所确定每根Bar条的分布位置以及粗扫长度生成Bar条粗扫描信息。3.根据权利要求2所述的高准确率的Bar条预扫方法，其特征是，基于预设的扫描方式对Bar条晶圆扫描时，包括：对Bar条晶圆上的Bar条进行逐行扫描，其中，每行Bar条扫描时，每行的起始扫描位置均与所配置的初始扫描位置对应；对每根Bar条粗扫描时，每根Bar条的粗扫描信息还包括每根Bar条内真实首颗芯片real_first_chip的位置以及真实最后一颗芯片real_last_chip的位置。4.根据权利要求3所述的高准确率的Bar条预扫方法，其特征是，对每根Bar条粗扫描时，每根Bar条内的Bar条芯片逐步进入粗扫描时的相机视野范围，对相机视野范围内的Bar条扫描后生成一芯片扫描图像，其中，基于一次扫描后生成的芯片扫描图像，确定当前芯片扫描图像内的临时首颗芯片
First_chip以及临时最后一颗芯片te...

【专利技术属性】
技术研发人员：强宁，余再欢，
申请(专利权)人：恩纳基智能科技无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：