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本发明涉及多用途高精度移载设备及其使用方法,包括工作平台,工作平台上从左至右依次设置有治具工位、料盒工位和晶元工位,位于料盒工位和治具工位之间的工作平台上安装有预置平台;工作平台上还安装有支撑架,支撑架横跨于治具工位、料盒工位和晶元工位上方...该专利属于恩纳基智能科技无锡有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩纳基智能科技无锡有限公司授权不得商用。
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本发明涉及多用途高精度移载设备及其使用方法,包括工作平台,工作平台上从左至右依次设置有治具工位、料盒工位和晶元工位,位于料盒工位和治具工位之间的工作平台上安装有预置平台;工作平台上还安装有支撑架,支撑架横跨于治具工位、料盒工位和晶元工位上方...