一种湿度传感器制备方法技术

本发明专利技术公开了一种湿度传感器制备方法，包括以下步骤：S01：提供已形成电极的电容结构芯片和氧化石墨烯分散液；S02：将所述氧化石墨烯分散液沉积到所述电容结构上；S03：速冻，使所述氧化石墨烯分散液凝固成为固体；S04：减压，使所述氧化石墨烯分散液固体中的溶剂升华，在所述电极之间形成三维海绵状的氧化石墨烯介质薄膜。本发明专利技术能够有效增大氧化石墨烯薄膜与水分子的接触面积，大幅提高氧化石墨烯薄膜对水分子的吸附能力及吸收效果，提升氧化石墨烯电容式湿度传感器的灵敏度，从而显著提高氧化石墨烯湿度传感器的性能。

【技术实现步骤摘要】
一种湿度传感器制备方法
本专利技术涉及传感器
，特别是涉及一种基于氧化石墨烯的湿度传感器制备方法。
技术介绍
湿度传感器在工业、农业及环境检测等领域具有重要的作用，其核心是应用了能够将湿度转化为其他可测试信号的敏感材料。湿敏材料主要包括半导体氧化物、高分子聚合物以及相关的复合材料，但是使用这类湿敏材料的传感器，普遍存在检测范围小、灵敏度低等问题。氧化石墨烯作为一种石墨烯的衍生物，具有较大的比表面积及丰富的含氧官能团，其含氧官能团可以与水分子通过氢键连接。因此，氧化石墨烯非常适合作为一种湿度传感器的敏感材料。电容式的湿度传感器主要包括由叉指电极组成的电容结构，以及由氧化石墨烯薄膜等敏感材料组成的介质层。常见的氧化石墨烯沉积到叉指电极上的方法有：喷涂法、旋涂法、滴涂法以及喷墨打印等方法。然而，采用上述方法沉积的氧化石墨烯，其有效吸收水分子的面积只有薄膜最表面与外界接触的部分。而大部分薄膜内部的氧化石墨烯由于吸收不到外界水分子，因而没有起到敏感材料的作用，造成湿度传感器灵敏度不够高的问题，也导致了氧化石墨烯材料的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种湿度传感器制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS01：提供已形成电极的电容结构芯片和氧化石墨烯分散液；/nS02：将所述氧化石墨烯分散液沉积到所述电容结构上；/nS03：速冻，使所述氧化石墨烯分散液凝固成为固体；/nS04：减压，使所述氧化石墨烯分散液固体中的溶剂升华，在所述电极之间形成三维海绵状的氧化石墨烯介质薄膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种湿度传感器制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S01：提供已形成电极的电容结构芯片和氧化石墨烯分散液；
S02：将所述氧化石墨烯分散液沉积到所述电容结构上；
S03：速冻，使所述氧化石墨烯分散液凝固成为固体；
S04：减压，使所述氧化石墨烯分散液固体中的溶剂升华，在所述电极之间形成三维海绵状的氧化石墨烯介质薄膜。


2.根据权利要求1所述的湿度传感器制备方法，其特征在于，还包括步骤S05：在所述电极之间的所述氧化石墨烯介质薄膜表面上形成向下的沟槽。


3.根据权利要求2所述的湿度传感器制备方法，其特征在于，采用激光刻蚀、离子束刻蚀或者电子束刻蚀形成所述沟槽。


4.根据权利要求1所述的湿度传感器制备方法，其特征在于，步骤S01中，所述氧化石墨烯分散液中氧化石墨烯的质量分数为0.1％～10％。


5.根据权利要求1所述的湿...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈若曦，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31