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本发明公开了一种湿度传感器制备方法，包括以下步骤：S01：提供已形成电极的电容结构芯片和氧化石墨烯分散液；S02：将所述氧化石墨烯分散液沉积到所述电容结构上；S03：速冻，使所述氧化石墨烯分散液凝固成为固体；S04：减压，使所述氧化石墨烯分...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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