掺杂态聚本胺氧化氮气体传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种掺杂态聚苯胺的氧化氮气体传感器及其制备方法。掺杂态聚苯胺的氧化氮气体传感器是由基片、电极、聚苯胺敏感膜和导电引出端组成。基片为长方形、方形或圆形的微晶玻璃片、陶瓷片、绝缘性能好的聚合物或高阻硅片，经清洗后在其一侧表面烧制或蒸发一对叉指电极，电极材料为金或银钯合金。其制备方法是在含叉指电极的基片部分上采用掺杂诱导沉积自组装法或原位聚合沉积法生长成较高导电率的聚苯胺敏感膜，在两个电极端引出导线。本发明专利技术具有抗干扰能力强、器件长期稳定性好、使用方便等优点。可以广泛应用于汽车尾气检测、大气环境检测以及工厂及仓库的氧化氮气体泄漏报警装置以及军事战地环境、卫星发射现场的氧化氮气体浓度的检控等。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属气体传感器领域。氧化氮(NOX)气体是大气中对环境和人类健康危害十分严重的污染物。因此，研制氧化氮气体传感器以便及时准确地获知环境中和有关污染源的NOX气体及其浓度，对环境监测和环境保护意义重大。目前文献所报道的NOX气体传感器，多采用无机氧化物如SnO2、WO3敏感材料，工作温度一般都较高(200～500℃)，不便传感器的实际应用。近年来，可在室温工作的有机材料尤其是导电聚合物材料用作气体敏感材料日益得到重视。在导电聚合物中，聚苯胺由于其制备相对较简单、成本低、导电性能较稳定，因此采用聚苯胺制作NOX气体敏感材料更具优势。1996年7月16日公开的Monkman等人的美国专利“Polyaniline Gas Sensor”(“聚苯胺气体传感器”，专利号US05536473)中首次将聚苯胺用于氧化氮气体传感器。但是Monkman等人采用的敏感膜是本征态聚苯胺，而本征态聚苯胺的电导率很低，大约为10-11S/cm，用它制作的传感器的电阻大于1千兆欧姆，给敏感信号的检测及后端信号处理带来很大困难，抗干扰能力差。另外，他们的制膜方法是通过旋涂法及真空蒸发等工艺，制得的膜与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掺杂态聚苯胺氧化氮气体传感器，由基片、电极、敏感膜和导电引出端组成，其特征是所述的敏感膜是掺杂态聚苯胺薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋亚东，李丹，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：51[中国|四川]