原子力显微镜探针装置及其制造方法制造方法及图纸

一种原子力显微镜探针装置，包括：一探针座；一固定于探针座、具有至少一可设置针尖的末端的悬臂；以及设置于该悬臂末端用作针尖的碳纳米管。其中，该探针悬臂末端的顶部形成有一具有孔洞的平面，该碳纳米管由该孔洞基本垂直于该平面长出。本发明专利技术还提供上述原子力显微镜探针装置的制造方法。本发明专利技术采用Ｘ光深刻电铸模造制程处理需设置碳纳米管针尖的原子力显微镜探针悬臂，解决现有技术中用作原子力显微镜探针针尖碳纳米管的取向性低的问题。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种原子力显微镜(Atomic Force Microscopy，以下简称AFM)探针装置及其制造方法，尤其涉及一种采用碳纳米管作针尖的。
技术介绍
近年来，随着光盘、磁记录、半导体等器件的高密度化、高集成化，以纳米以下精度测定样本表面形态的AFM的应用范围日益扩展。它的工作原理是利用其探针与样本之间力与距离的依赖关系来获得物质表面结构和性质。典型的AFM有三种成像模式接触式、非接触式及轻敲式。而探针是AFM的核心部件，价格昂贵，极易受损。利用碳纳米管所具备的良好弹性及尖端特性，以其作为探针针尖的AFM早有报道。戴宏杰等在2002年2月12日公告的第6,346,189号美国专利“利用催化剂岛制成的碳纳米管结构”中揭露一种在AFM用探针悬臂上形成碳纳米管针尖的方法。该方法步骤如下提供一可用于AFM的悬臂；在该悬臂的自由端(Free End)沉积一催化剂颗粒；使该催化剂颗粒在高温下接触含碳气氛以长出碳纳米管。然而，该方法直接在AFM的悬臂尖端生长用作针尖的碳纳米管，所得的碳纳米管取向性差，势必影响整个AFM的精密性。因此，有必要提供一种具有高取向性碳纳米管针尖的AFM探本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种原子力显微镜探针装置，包括：一探针座；一固定于探针座、具有至少一可设置针尖的末端的悬臂；以及设置于该悬臂末端用作针尖的碳纳米管，其特征在于，该探针悬臂末端的顶部形成有一具有孔洞的平面，该碳纳米管由该孔洞基本垂直于该平面长出。

【技术特征摘要】
1.一种原子力显微镜探针装置，包括一探针座；一固定于探针座、具有至少一可设置针尖的末端的悬臂；以及设置于该悬臂末端用作针尖的碳纳米管，其特征在于，该探针悬臂末端的顶部形成有一具有孔洞的平面，该碳纳米管由该孔洞基本垂直于该平面长出。2.如权利要求1所述所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，上述孔洞的孔径为20～100纳米。3.一种原子力显微镜探针装置的制造方法，包括步骤提供一具至少一需设置针尖的末端的原子力显微镜悬臂；在该末端的顶部形成一平面；采用X光深刻电铸模造制程在该平面形成一孔洞；采用化学气相沉积法于该孔洞生长出与该平面基本垂直以用作针尖的碳纳米管。4.如权利要求3所述所述的原子力显微镜探针装置的制造方法，其特征在于，采用切割打磨方法在该末端的顶部形成一平面。5.如权利要求3所述的原子力显微镜探针装置的制造方法，其特征在于，上述X光深刻电铸模造制程包括步骤在该平面形成具有预定图案的光阻材料层；蚀刻该平面形成与光阻材料层相应的预定图...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋长志，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]