基于压电扫描管动态特性的原子力显微镜成像方法及装置制造方法及图纸

一种基于压电扫描管动态特性的原子力显微镜成像方法及装置。首先针对当前原子力显微镜普遍采用的成像方法在高速扫描下成像误差大的缺点，通过分析ＡＦＭ成像部件的信号，提出了一种加入压电扫描管动态特性的改进成像方法，包括：模型的辨识、参数的标定、采集成像所需数据及成像。本发明专利技术有效地提高了ＡＦＭ在Ｚ方向上的成像精度，特别是对于ＡＦＭ高速扫描下的成像精度有着明显的改善效果。成像装置采用本原ＣＳＰＭ４０００及其所提供的信号访问接口，利用ＲＴＬｉｎｕｘ良好的实时性，在ＰＣ上实现了控制周期为５０μｓ的精确实时反馈控制。利用该装置可以在高速扫描时实现样品的精确成像，并能为以后进行纳米操作方面的研究提供条件。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于压电扫描管动态特性的原子力显微镜成像方法，其特征在于成像时利用压电扫描管的动态特性来提高成像精度，具体成像方法如下：ｈ（ｔ）＝ｋ↓［ｖ］.（ｖ（ｔ）－Ｌ↑［－１］（Ｕ（ｓ）Ｇ（ｓ）））（９）其中，ｈ（ｔ）为样品的 形貌变化，ｋ↓［ｖ］为激光检测系统的静态增益，ｖ（ｔ）为光斑信号，Ｕ（ｓ）为控制信号ｕ（ｔ）的拉普拉斯变换，Ｇ（ｓ）为系统Ｚ方向上的动态模型；Ｌ↑［－１］（Ｕ（ｓ）Ｇ（ｓ））为（Ｕ（ｓ）Ｇ（ｓ））的反拉普拉斯变换；具体步骤包括： 第１、首先要获得所使用的压电扫描管的动态特性，第１．１、模型的辨识：在开环条件下，通过Ｒ...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：方勇纯，董晓坤，周娴玮，张玉东，
申请(专利权)人：南开大学，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]