一种台式一体化原子力显微镜制造技术

本实用新型专利技术涉及一种台式一体化原子力显微镜，包括主机和金属屏蔽隔音箱，金属屏蔽隔音箱内部下端设有电子控制系统，主机设在金属屏蔽隔音箱内的防震装置上，防震装置通过四根弹簧悬挂在金属屏蔽隔音箱内；主机的下端设有扫描器基座，扫描器基座前侧面的中上方设有精密二维调节装置，扫描器基座的顶端设有扫描器，扫描器的左右两侧对称设有粗调驱动装置，扫描器的后端设有微调驱动装置；主机上端设有探针头部，探针头部顶端的左右两侧分别设有四象限接收器二维调整机构和激光器二维调整机构，探针头部前侧面的中下部靠近边缘处设有探针模块。本实用新型专利技术的有益效果为：结构简单，使用方便；外界干扰对仪器工作影响小；具有原子与纳米级的分析能力。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种台式一体化原子力显微镜。技术背景1986年，美国科学家Binning、Quate和Gerber专利技术了第一台原子力显微镜 (AFM)0所谓原子力显微镜，就是利用原子之间的相互作用力来达到观测目的的显微镜。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时针尖将与样品相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。 扫描样品时，利用传感器检测这些变化，就可获得作用力分布信息，从而以纳米级分辨率获得表面结构信息。原子力显微镜是作为继光学显微镜、电子显微镜之后的第三代显微镜。AFM可以在空气、真空及液体环境下实现纳米、亚纳米分辨测试，且具有可观察三维图像、无需对样品特殊处理等优点，其应用除了纳米尺度表面形貌的测量，更广为应用于探索纳米尺度下微观的物性(光、力、电、磁)量测，功能已经远远超过以往显微镜技术，是21世纪纳米技术时代科学中一种不可缺少之重要分析仪器。目前各原子力显微镜制造商一般将电子控制系统与扫描探针主机采用分体设计方式，结构分散体积本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种台式一体化原子力显微镜，包括主机（１）和金属屏蔽隔音箱（２），其特征在于：所述主机（１）设在金属屏蔽隔音箱（２）内的防震装置（３）上，所述防震装置（３）通过四根弹簧悬挂在金属屏蔽隔音箱（２）内；所述主机（１）的下端设有扫描器基座（４），扫描器基座（４）前侧面的中上方设有精密二维调节装置（６），扫描器基座（４）的顶端设有扫描器（７），扫描器（７）的左右两侧对称设有粗调驱动装置（８），扫描器（７）的后端设有微调驱动装置（１２）；主机（１）的上端设有探针头部（５），探针头部（５）通过微调驱动装置（１２）和两个粗调驱动装置（８）支撑在扫描器基座（４）的上方，探针头部（５）顶端的左右两侧分别设有...

【技术特征摘要】
1. 一种台式一体化原子力显微镜，包括主机(1)和金属屏蔽隔音箱(2)，其特征在于 所述主机(1)设在金属屏蔽隔音箱(2)内的防震装置(3)上，所述防震装置(3)通过四根弹簧悬挂在金属屏蔽隔音箱(2)内；所述主机(1)的下端设有扫描器基座(4)，扫描器基座(4) 前侧面的中上方设有精密二维调节装置(6)，扫描器基座(4)的顶端设有扫描器(7)，扫描器(7)的左右两...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩雄，李立强，罗先照，
申请(专利权)人：苏州海兹思纳米科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32