【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种，属于传感器及其制造的
技术介绍
气体传感器是用于检测某种特定气体的浓度的传感器件，如检测乙醇，丙酮，乙醚等气体。气体传感器的敏感材料的微粒的粒度越小，比表面积越大，传感器与周围气体的接触而发生的相互作用越大。纳米氧化锌薄膜具有非常大的比表面积，有利于被测气体的吸附，是一种理想的气体敏感材料。传统气体传感器都是通过检测敏感材料对气体响应的模拟量电参数如电阻，电容等来表示出相应的某种气体的浓度值。
技术介绍
的缺点是对气体传感器传感的模拟信号必需进行模数转换，把模拟量转换为数字量，才能进行后续的信号处理。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种纳米氧化锌薄膜气体传感器，该气体传感器有结构简单、灵敏度高、制作方便、和其输出信号的频率为数字量，无需进行模数转换，就能直接由数字电路进行后续的信号处理的优点。为实现以上目的，本专利技术采用以下的技术方案。现结合附图说明如下。一种纳米氧化锌薄膜气体传感器5，包括音叉式石英晶片，该晶片是现成的，其两个电极引出脚6、7分别从其两个振臂9的根部引出，其特征在于，在两个振臂9上生长有纳米氧化锌薄膜8，所述...
【技术保护点】
一种纳米氧化锌薄膜气体传感器（５），包括音叉式石英晶片，该晶片是现成的，其两个电极引出脚（６、７）分别从其两个振臂（９）的根部引出，其特征在于，在两个振臂（９）上生长有纳米氧化锌薄膜（８），所述的纳米氧化锌的颗粒的粒径为１０～１００纳米，纳米氧化锌薄膜（８）的厚度为５０～５００纳米。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张健，周晓峰，姜涛，
申请(专利权)人：华东师范大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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