丙酮蒸汽气敏传感元件制造技术

本发明专利技术是丙酮蒸汽气敏传感元件，又称丙酮气敏传感器。它由一个陶瓷管主体构成，其两端缠有铂金丝引出电极。陶瓷管内有电炉丝，用以加热陶瓷管。陶瓷管外表面用直流溅射或射频溅射一层ＺｎＯ薄膜。将电热丝和ＺｎＯ膜上的铂金丝引出电极分别与加热电路和电极引出回路相连接再与测试电路相连接。利用ＺｎＯ薄膜的电阻随引入的丙酮蒸气的浓度及时间变化而改变，便可测定丙酮蒸气的浓度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于一种气体传感元件，特别涉及一种ZnO薄膜型高选择性的丙酮蒸汽气敏传感元件。
技术介绍
气敏元件是气体传感器的核心部件，其质量水平的高低决定了气体传感器的优劣。目前市场上有对有机气体均敏感的广谱型气体传感元件，但无仅对丙酮敏感的气敏元件。例如天津费加罗电子有限公司生产的TGS822型气体传感元件。查阅其网站上2005年10月公布的技术资料可知，该气敏元件用化学成膜法制备，是SnO2基薄膜型气敏元件，对酒精和其他的有机溶剂均十分敏感.因此不能在众多的有机蒸气中检测出丙酮的存在与否以及其浓度.本专利技术采用物理成膜法(溅射法)制备气敏元件，与其不同制备方法更为先进。本专利技术所制备出的气敏元件仅对丙酮蒸气有敏感特性，对于其他常见的有机蒸气(如乙醇，甲苯，甲醛，汽油等)基本不敏感，可在众多的混合有机蒸气中，检测出丙酮蒸气的存在与否及其浓度。
技术实现思路
利用直流溅射或者射频溅射法，选择合适的工艺参数(如溅射电压，溅射电流，真空度，氧氩比等)在市售的陶瓷管或石英管外表面上制备ZnO薄膜。陶瓷管内置有电炉丝，用以加热陶瓷管。将电炉丝和ZnO膜上的铂金丝引出电极分别与引出回路和测试电本文档来自技高网...

【技术保护点】
本专利技术属于一种气体传感元件，特别涉及一种ＺｎＯ薄膜型高选择性的丙酮气敏传感元件的专利技术，其特征在于氧化铝陶瓷管（或石英玻璃管）的外表面溅射一层ＺｎＯ薄膜．溅射的方法既可以是直流磁控溅射法，也可以是射频溅射，并设置合适的工艺参数（溅射电压、溅射电流，真空度，氧氩比等）。本专利技术要求检测丙酮蒸气时对ＺｎＯ溅射层进行加热．依据ＺｎＯ层的电阻变化来检测丙酮蒸气。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：井叶之，程东升，孙以材，
申请(专利权)人：井叶之，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]