一种片式氧传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种片式氧传感器及其制备方法，包括加热器基体、设在所述加热器基体上部的参比气通道本体和设在所述参比气通道本体上部的氧化锆敏感基体，在所述加热器基体和参比气通道本体之间设有绝缘层，在所述绝缘层内部设有若干加热体，在所述氧化锆敏感基体上下表面分别设有外电极和内电极，在所述参比气通道本体中设有参比气通道，所述参比气通道同时与所述内电极所在空间和大气连通；由于本发明专利技术采用片式结构，将加热器和氧敏感探头通过高温共烧形成一个整体，成为真正的直接加热结构，所以本发明专利技术结构简单，尺寸和质量较小，节能，响应速度快，能显著缩短发动机起动后到氧传感器升温激活的等待时间，经济和社会效益明显。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种片式氧传感器及其制备方法，片式氧传感器包括加热器（９）和氧敏感探头（１３），其特征在于，所述加热器（９）包括加热器基体（１）、设在所述加热器基体（１）上部的绝缘层（２）和设在所述绝缘层（２）内部的若干加热体（３），所述氧敏感探头（１３）包括设在所述加热器（９）上部的参比气通道本体（４）、设在所述参比气通道本体（４）上部的氧化锆敏感基体（６）、分别设在所述氧化锆敏感基体（６）上下表面的外电极（８）和内电极（７），所述各个加热体（３）的两端分别向外延伸汇聚并最终在所述加热器基体（１）下部形成两个导电引脚（１２），在所述外电极（８）上表面设有多孔保护层（１０），所述外电极（８）和内电极（７）分别...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨世养，周云，
申请(专利权)人：杨世养，
类型：发明
国别省市：44[中国|广东]