下载一种片式氧传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:2582044

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本发明公开了一种片式氧传感器及其制备方法,包括加热器基体、设在所述加热器基体上部的参比气通道本体和设在所述参比气通道本体上部的氧化锆敏感基体,在所述加热器基体和参比气通道本体之间设有绝缘层,在所述绝缘层内部设有若干加热体,在所述氧化锆敏感基...
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