下载纳米氧化锌薄膜气体传感器及其制备方法的技术资料

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一种纳米氧化锌薄膜气体传感器包括音叉式石英晶片,该晶片是现成的,其两个电极分别从其两个振臂的根部引出,在所述的两个振臂上生长有纳米氧化锌薄膜,其工作基于以下现象:纳米氧化锌薄膜吸附特种气体后,振臂质量增大,导致音叉式石英晶片固有频率下降。该...
该专利属于华东师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华东师范大学授权不得商用。

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