一种晶圆自动刷片机制造技术

本发明专利技术属于晶圆生产加工技术领域，提供了一种晶圆自动刷片机，包括机架，机架上具有一工作台，工作台上设有一料架，料架上设有若干花篮放置位，料架中间位置设有晶圆定位机构；工作台上还安装有一机械臂，机械臂的执行端安装有晶圆托板；机械臂的两侧分别设有刷片箱，刷片箱一侧开设有晶圆取放口；工作台下方设有第一驱动装置和第二驱动装置驱动的真空管，真空管顶端安装有伯努利吸盘，工作台上设有第三驱动装置和第四驱动装置驱动的上安装板，上安装板位于刷片箱内的一端转动安装有第五驱动装置驱动的海绵刷头。本发明专利技术实现了对晶圆的自动刷洗，刷洗效率大大提高，刷洗更干净彻底且不会对晶圆造成二次污染及划伤，确保晶圆质量及合格率不受影响。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动刷片机
本专利技术涉及晶圆生产加工
，尤其涉及一种晶圆自动刷片机。
技术介绍
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。随着半导体器件关键尺寸的不断缩小以及新材料的引入，在晶圆的生产加工过程中，对晶圆表面的洁净度要求越来越严苛，通常需要进行多次清洗，以去除晶圆上沾附的污垢及工艺液。目前，对晶圆的清洗通常分为槽式清洗和单片清洗两种方式；槽式清洗即把晶圆放到清洗槽内清洗，能够同时实现若干晶圆的清洗，具有较高的清洗效率，但对晶圆的清洗效果差，且从晶圆上清洗下来的污染物仍留存在清洗液中，会对晶圆造成二次污染，为避免晶圆的交叉污染，提高晶圆的清洗效果，单片清洗方式正逐渐取代槽式清洗，但目前仍没有专门用于晶圆单片清洗的清洗设备，晶圆的单片刷洗，仍多依靠人工完成，人工刷洗不但效率低，劳动强度大，且由于刷片人员操作不细心等各种原因，易划伤晶圆，导致晶圆直接报废或降级处理，影响晶圆的生产质量及产品合格率。因此，开发一种晶圆自动刷片机，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力，这正是本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆自动刷片机，包括机架，其特征在于：所述机架上具有一工作台，所述工作台上设有一料架，所述料架上设有若干花篮放置位，且所述料架的中间位置设有一晶圆定位机构；/n所述工作台上还安装有一与所述料架对应设置的机械臂，所述机械臂的执行端安装有晶圆托板，所述晶圆托板的末端具有一晶圆托放部，所述晶圆托放部的上表面开设有吸片孔，所述晶圆托板的内部开设有与所述吸片孔相连通的气道；/n所述机械臂的两侧分别设有于所述工作台上固定安装的刷片箱，所述刷片箱和所述料架均于所述机械臂的运动半径内设置，且所述刷片箱朝向所述机械臂的一侧开设有晶圆取放口；/n所述工作台下方沿竖直方向滑动安装有第一驱动装置驱动的安装架，...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动刷片机，包括机架，其特征在于：所述机架上具有一工作台，所述工作台上设有一料架，所述料架上设有若干花篮放置位，且所述料架的中间位置设有一晶圆定位机构；
所述工作台上还安装有一与所述料架对应设置的机械臂，所述机械臂的执行端安装有晶圆托板，所述晶圆托板的末端具有一晶圆托放部，所述晶圆托放部的上表面开设有吸片孔，所述晶圆托板的内部开设有与所述吸片孔相连通的气道；
所述机械臂的两侧分别设有于所述工作台上固定安装的刷片箱，所述刷片箱和所述料架均于所述机械臂的运动半径内设置，且所述刷片箱朝向所述机械臂的一侧开设有晶圆取放口；
所述工作台下方沿竖直方向滑动安装有第一驱动装置驱动的安装架，所述安装架上转动安装有第二驱动装置驱动的真空管，所述真空管的顶端贯穿所述刷片箱，且安装有用以托放并吸合晶圆的伯努利吸盘，所述工作台上沿水平方向滑动安装有第三驱动装置驱动的下安装板，所述下安装板上沿竖直方向滑动安装有第四驱动装置驱动的上安装板，所述上安装板的一端延伸至所述刷片箱内，且所述上安装板位于所述刷片箱内的一端转动安装有第五驱动装置驱动的转轴，所述转轴的底端固定安装有一海绵刷头，且所述海绵刷头的转向与所述伯努利吸盘的转向相反。


2.如权利要求1所述的晶圆自动刷片机，其特征在于：所述料架为圆弧状，且所述料架固定安装于所述工作台上；
所述料架上设有若干花篮定位板，对应设置的所述花篮定位板间形成与所述花篮底部相适配的所述花篮放置位，且所述花篮定位板上均开设有条形孔，所述花篮定位板通过所述条形孔并利用定位螺栓固定安装于所述料架上；
所述料架上还开设有若干安装槽，所述安装槽内安装有用以检测花篮有无的接触式传感器。


3.如权利要求2所述的晶圆自动刷片机，其特征在于：所述晶圆定位机构包括固定安装于所述料架上的底板，所述底板的两端部分别固定安装有第一滑台气缸，所述第一滑台气缸的滑台上固定安装有固定板，所述固定板上固定安装有晶圆定位板，且两所述晶圆定位板对应设置，所述晶圆定位板相对的一侧为与晶圆外径相适配的弧面结构；
所述底板上还固定安装有晶圆托放柱和限位板，所述晶圆托放柱位于两所述晶圆定位板中间，靠近所述机械臂设置，且所述晶圆托放柱的顶部承托面与所述晶圆定位板同高度设置，所述限位板位于两所述第一滑台气缸的中间。


4.如权利要求3所述的晶圆自动刷片机，其特征在于：所述机械臂的转杆底部固定安装有托板固定座，所述晶圆托板设有两个，两所述晶圆托板均固定安装于所述托板固定座上，且所述晶圆托板的晶圆托放部为与所述晶圆托放柱和所述伯努利吸盘相适配的叉形结构；
所述托板固定座上还固定安装有用以检测花篮中晶圆料况的数字式传感器。


5.如权利要求4所述的晶圆自动刷片机，其特征在于：所述刷片箱包括下清洗壳和上防护壳，所述下清洗壳固定安装于所述工作台上，所述上防护壳为透明防护壳，且所述上防护壳适配扣合于所述下清洗壳上；
所述下清洗壳底部设有一隔板，所述隔板将所述下清洗壳分隔为清洗槽和蓄水槽，所述晶圆取放口和所述伯努利吸盘均于所述清洗槽位置处设置，且所述清洗槽和所述蓄水槽的底部均设有排水口；
所述下清洗壳的内壁上还固定安装有两对应设置的挡板，所述挡板位于所述晶圆取放口下方，且两所述挡...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭明灿，李凯杰，赵成浩，王子龙，
申请(专利权)人：山东元旭光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37