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本发明属于晶圆生产加工技术领域，提供了一种晶圆自动刷片机，包括机架，机架上具有一工作台，工作台上设有一料架，料架上设有若干花篮放置位，料架中间位置设有晶圆定位机构；工作台上还安装有一机械臂，机械臂的执行端安装有晶圆托板；机械臂的两侧分别设有...
该专利属于山东元旭光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东元旭光电股份有限公司授权不得商用。

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