本发明专利技术属于晶圆下片技术领域，提供了一种自动下片机，包括机架，机架上设有倍速链输送线、第一载具定位机构、自动下螺丝机构、第二载具定位机构、取放机械臂、盖板放置台、晶圆放置台和载具举升机构；第一载具定位机构、第二载具定位机构和载具举升机构沿倍速链输送线的输送方向依次设置，自动下螺丝机构与第一载具定位机构相对应，取放机械臂、盖板放置台与第二载具定位机构相对应，取放机械臂工作轴端部设有取放料机构，晶圆放置台位于倍速链输送线出料端，且倍速链输送线出料端还设有载具拨送机构。本发明专利技术能够实现晶圆的自动下片，不但下片效率大大提高，且有效避免了在下片过程中意外划伤晶圆现象的发生，确保晶圆的质量及合格率不受影响。率不受影响。率不受影响。
【技术实现步骤摘要】
一种自动下片机
[0001]本专利技术涉及晶圆下片
，尤其涉及一种自动下片机。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆在生产加工过程中，依据加工工艺的需求，需要将晶圆排列放置于晶圆料盘内，然后将承载有晶圆的整个料盘放入等离子刻蚀机中进行ICP刻蚀加工，ICP刻蚀工艺后，再将晶圆从晶圆料盘内依次取出，以便进行后续的AFM测试等，将晶圆从晶圆料盘内取出的这一过程称为晶圆的下片。
[0003]目前，晶圆于料盘内的下片操作，通常由人工完成，由于盖板是通过若干螺钉固定安装于载片板上的，下片时，需要先将螺钉拆卸下，将盖板从载片板上取下，然后将晶圆从载片板的容纳槽内一片一片的取出，晶圆从载片板上取出后，再重新将盖板盖合到载片板上，完成晶圆的下片；人工卸螺钉及取晶圆方式，不但劳动强度大，费时费力，下片效率低，且在晶圆取放过程中，因下片操作人员操作不细心等各种主观原因，易划伤晶圆，对晶圆造成损伤，会导致晶圆直接报废或降级处理，直接影响晶圆的生产质量及产品合格率，但目前仍没有专门用于晶圆下片的自动卸螺钉、取放晶圆的设备。因此，开发一种自动下片机，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力，这正是本专利技术得以完成的动力所在和基础。
技术实现思路
[0004]为了克服上述所指出的现有技术的缺陷，本专利技术人对此进行了深入研究，在付出了大量创造性劳动后，从而完成了本专利技术。
[0005]具体而言，本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种自动下片机，以解决目前的人工下片方式，卸螺钉及取放晶圆费时费力，下片效率低，且易划伤晶圆、影响晶圆质量的技术问题。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种自动下片机，包括机架，所述机架上设有倍速链输送线、第一载具定位机构、自动下螺丝机构、第二载具定位机构、取放机械臂、盖板放置台、晶圆放置台和载具举升机构；所述第一载具定位机构、所述第二载具定位机构和所述载具举升机构沿所述倍速链输送线的输送方向依次设置，所述倍速链输送线上设有若干阻挡气缸，若干所述阻挡气缸分别于所述第一载具定位机构、所述第二载具定位机构的前后端设置，所述自动下螺丝机构位于所述第一载具定位机构的上方，且与所述第一载具定位机构相对应，所述取放机械臂和所述盖板放置台均位于所述倍速链输送线的一侧，且与所述第二载具定位机构相对应，所述取放机械臂的工作轴端部设有用以实现盖板和晶圆取放的取放料机构，所述晶圆放置台位于所述倍速链输送线的出料端，且所述倍速链输送线的出料端还设有与所述载具举升机构对应设置的载具拨送机构。
[0007]作为一种改进的技术方案，所述倍速链输送线包括固定安装于所述机架上的输送架体，所述输送架体的一端转动安装有驱动电机驱动的传动轴，所述传动轴的两端分别键连接有主动齿轮，所述输送架体的另一端转动安装有分别与所述主动齿轮对应设置的从动齿轮，对应设置的所述主动齿轮和所述从动齿轮之间架绕有倍速链，且所述主动齿轮和所述从动齿轮通过所述倍速链传动相连。
[0008]作为一种改进的技术方案，所述输送架体的一端固定安装有电机减速器，所述驱动电机通过所述电机减速器与所述传动轴的一端传动相连。
[0009]作为一种改进的技术方案，所述输送架体的端部还均固定安装有倍速链回程导轨，所述倍速链回程导轨具有圆弧形导向面，所述输送架体的顶部内侧均固定安装有耐磨条，沿所述输送架体长度方向对应设置的所述耐磨条间形成与晶圆载具宽度相适配的导向滑道。
[0010]作为一种改进的技术方案，所述第一载具定位机构、所述第二载具定位机构均包括夹持气缸驱动的升降托板和固定安装于所述机架上的限位块、限位板，所述升降托板的顶面设有用以实现晶圆载具定位的定位销，所述限位块和所述限位板均于所述倍速链输送线的两侧，且对应设置，处于定位状态时，晶圆载具的托盘定位夹持于所述升降托板和所述限位块之间，且所述第一载具定位机构的所述限位板延伸至晶圆载具的盖板设置，所述第二载具定位机构的所述限位板延伸至晶圆载具的载片板设置。
[0011]作为一种改进的技术方案，所述定位销包括圆柱形定位销和菱形定位销，所述圆柱形定位销和所述菱形定位销分别于所述升降托板的两端设置。
[0012]作为一种改进的技术方案，所述机架上固定安装有气缸安装板，所述夹持气缸固定安装于所述气缸安装板上，且所述夹持气缸的活塞轴顶部与所述升降托板的底面中间位置固定连接；所述气缸安装板上还固定安装有若干直线轴承，所述直线轴承内沿竖直方向滑动插装有导向轴，所述导向轴的顶端均与所述升降托板固定连接。
[0013]作为一种改进的技术方案，所述阻挡气缸设有四个，其中两所述阻挡气缸分别位于所述第一载具定位机构和所述第二载具定位机构的前端，另外两所述阻挡气缸分别位于所述第一载具定位机构和所述第二载具定位机构的后端，且晶圆载具输送至一端抵靠位于载具定位机构后端的所述阻挡气缸时，所述升降托板上的定位销与晶圆载具上开设有的定位孔相对应。
[0014]所述自动下螺丝机构设有两套，且分别沿所述倍速链输送线的输送方向排列设置；所述自动下螺丝机构包括由第一驱动装置驱动、且沿X轴方向滑动的第一安装板，所述第一安装板上沿Y轴方向滑动安装有第二驱动装置驱动的第二安装板，所述第二安装板上沿Z轴方向滑动安装有第三驱动装置驱动的第三安装板，所述第三安装板上通过缓冲机构安装有电批。
[0015]作为一种改进的技术方案，所述第一驱动装置包括固定安装于所述机架上的第一电缸，所述机架上还固定安装有与所述第一电缸平行设置的第一导轨，所述第一导轨上滑动安装有第一滑块，所述第一安装板的两端分别通过安装座与所述第一滑块、所述第一电缸的滑板固定连接；
所述第二驱动装置包括固定安装于所述第一安装板上的第二电缸，所述第二安装板固定安装于所述第二电缸的滑板上；所述第三驱动装置包括固定安装于所述第二安装板上的第三电缸，所述第三安装板固定安装于所述第三电缸的滑板上。
[0016]作为一种改进的技术方案，所述缓冲机构包括沿竖直方向滑动安装于所述第三安装板上的连接板，所述连接板顶端与所述第三安装板的顶部间设有第一压缩弹簧，所述第一压缩弹簧的两端分别与所述连接板、所述第三安装板连接，所述电批固定安装于所述连接板上。
[0017]作为一种改进的技术方案，所述第三安装板沿竖直方向固定安装有第二导轨，所述第二导轨上滑动安装有第二滑块，所述连接板固定安装于所述第二滑块上。
[0018]作为一种改进的技术方案，所述连接板上还固定安装有防护罩，所述防护罩包覆所述电批设置。
[0019]作为一种改进的技术方案，所述机架上还固定安装有若干螺钉导料管，对晶圆载具定位状态时，所述螺钉导料管顶端进口分别与晶圆载具上的螺钉落料孔对应设置；所述机架底部固定安装有与所述螺钉导料管出口对应设置的螺钉滑道，所述螺钉滑道的出口位于所述机架一侧。
[0020]作为一种改进的技术方案，所述倍速链输送线的进料端还设有扫码器。
[0021]作为一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自动下片机，包括机架，其特征在于：所述机架上设有倍速链输送线、第一载具定位机构、自动下螺丝机构、第二载具定位机构、取放机械臂、盖板放置台、晶圆放置台和载具举升机构；所述第一载具定位机构、所述第二载具定位机构和所述载具举升机构沿所述倍速链输送线的输送方向依次设置，所述倍速链输送线上设有若干阻挡气缸，若干所述阻挡气缸分别于所述第一载具定位机构、所述第二载具定位机构的前后端设置，所述自动下螺丝机构位于所述第一载具定位机构的上方，且与所述第一载具定位机构相对应，所述取放机械臂和所述盖板放置台均位于所述倍速链输送线的一侧，且与所述第二载具定位机构相对应，所述取放机械臂的工作轴端部设有用以实现盖板和晶圆取放的取放料机构，所述晶圆放置台位于所述倍速链输送线的出料端，且所述倍速链输送线的出料端还设有与所述载具举升机构对应设置的载具拨送机构。2.如权利要求1所述的自动下片机，其特征在于：所述倍速链输送线包括固定安装于所述机架上的输送架体，所述输送架体的一端转动安装有驱动电机驱动的传动轴，所述传动轴的两端分别键连接有主动齿轮，所述输送架体的另一端转动安装有分别与所述主动齿轮对应设置的从动齿轮，对应设置的所述主动齿轮和所述从动齿轮之间架绕有倍速链，且所述主动齿轮和所述从动齿轮通过所述倍速链传动相连；所述输送架体的端部还均固定安装有倍速链回程导轨，所述倍速链回程导轨具有圆弧形导向面，所述输送架体的顶部内侧均固定安装有耐磨条，沿所述输送架体长度方向对应设置的所述耐磨条间形成与晶圆载具宽度相适配的导向滑道。3.如权利要求2所述的自动下片机，其特征在于：所述第一载具定位机构、所述第二载具定位机构均包括夹持气缸驱动的升降托板和固定安装于所述机架上的限位块、限位板，所述升降托板的顶面设有用以实现晶圆载具定位的定位销，所述限位块和所述限位板均于所述倍速链输送线的两侧，且对应设置，处于定位状态时，晶圆载具的托盘定位夹持于所述升降托板和所述限位块之间，且所述第一载具定位机构的所述限位板延伸至晶圆载具的盖板设置，所述第二载具定位机构的所述限位板延伸至晶圆载具的载片板设置。4.如权利要求3所述的自动下片机，其特征在于：所述自动下螺丝机构设有两套，且分别沿所述倍速链输送线的输送方向排列设置；所述自动下螺丝机构包括由第一驱动装置驱动、且沿X轴方向滑动的第一安装板，所述第一安装板上沿Y轴方向滑动安装有第二驱动装置驱动的第二安装板，所述第二安装板上沿Z轴方向滑动安装有第三驱动装置驱动的第三安装板，所述第三安装板上通过缓冲机构安装有电批。5.如权利要求4所述的自动下片机，其特征在于：所述缓冲机构包括沿竖直方向滑动安装于所述第三安装板上的连接板，所述连接板顶端与...
【专利技术属性】
技术研发人员：王子龙，李凯杰，陈仁明，李健，武传龙，
申请(专利权)人：山东元旭光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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