本发明专利技术属于晶圆下片技术领域，提供了一种晶圆自动下片装置，包括机架，机架上设有倍速链输送线、载具定位机构、载具举升机构、取放机械臂、盖板放置台和晶圆放置台，载具定位机构和载具举升机构沿倍速链输送线的输送方向依次设置，倍速链输送线上设有阻挡气缸，取放机械臂和盖板放置台均位于倍速链输送线的一侧，且取放机械臂的工作轴端部设有取放料机构，晶圆放置台位于倍速链输送线的一端，且倍速链输送线的端部还设有与载具举升机构对应设置的载具拨送机构。本发明专利技术能够实现晶圆的流水线自动下片，相较人工下片方式，不但下片效率大大提高，且有效避免了在下片过程中意外划伤晶圆现象的发生，确保晶圆下片过程中晶圆的质量及合格率不受影响。合格率不受影响。合格率不受影响。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动下片装置
[0001]本专利技术涉及晶圆下片
，尤其涉及一种晶圆自动下片装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆在生产加工过程中，依据加工工艺的需求，需要将晶圆排列放置于晶圆料盘内，然后将承载有晶圆的整个料盘放入等离子刻蚀机中进行ICP刻蚀加工，ICP刻蚀工艺后，再将晶圆从晶圆料盘内依次取出，以便进行后续的AFM测试等，将晶圆从晶圆料盘内取出的这一过程称为晶圆的下片。
[0003]目前，晶圆于料盘内的下片操作，通常由人工完成，下片时，先将盖板从载片板上取下，然后将晶圆从载片板上一片一片的取出，晶圆从载片板上取出后，再重新将盖板盖合到载片板上，不但劳动强度大，费时费力，下片效率低，且在取片放片过程中，因下片操作人员操作不细心等各种主观原因，易划伤晶圆，对晶圆造成损伤，会导致晶圆直接报废或降级处理，直接影响晶圆的生产质量及产品合格率，但目前仍没有专门用于晶圆下片的自动取片、载具输送的一体流水线设备。因此，开发一种晶圆自动下片装置，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力，这正是本专利技术得以完成的动力所在和基础。
技术实现思路
[0004]为了克服上述所指出的现有技术的缺陷，本专利技术人对此进行了深入研究，在付出了大量创造性劳动后，从而完成了本专利技术。
[0005]具体而言，本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种晶圆自动下片装置，以解决目前人工下片费时费力，下片效率低，且易划伤晶圆、影响晶圆质量的技术问题。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种晶圆自动下片装置，包括机架，所述机架上设有倍速链输送线、载具定位机构、载具举升机构、取放机械臂、盖板放置台和晶圆放置台，所述载具定位机构和所述载具举升机构沿所述倍速链输送线的输送方向依次设置，所述倍速链输送线上设有阻挡气缸，所述阻挡气缸设有两个，且分别于所述载具定位机构的前后端设置，所述取放机械臂和所述盖板放置台均位于所述倍速链输送线的一侧，且所述取放机械臂的工作轴端部设有用以实现盖板和晶圆取放的取放料机构，所述晶圆放置台位于所述倍速链输送线的一端，且所述倍速链输送线的端部还设有与所述载具举升机构对应设置的载具拨送机构。
[0007]作为一种改进的技术方案，所述倍速链输送线包括固定安装于所述机架上的输送架体，所述输送架体的一端转动安装有驱动电机驱动的传动轴，所述传动轴的两端分别键连接有主动齿轮，所述输送架体的另一端转动安装有分别与所述主动齿轮对应设置的从动齿轮，对应设置的所述主动齿轮和所述从动齿轮之间架绕有倍速链，且所述主动齿轮和所述从动齿轮通过所述倍速链传动相连。
[0008]作为一种改进的技术方案，所述输送架体的一端固定安装有电机减速器，所述驱
动电机通过所述电机减速器与所述传动轴的一端传动相连。
[0009]作为一种改进的技术方案，所述输送架体的端部还均固定安装有倍速链回程导轨，所述倍速链回程导轨具有圆弧形导向面，所述输送架体的顶部内侧均固定安装有耐磨条，沿所述输送架体长度方向对应设置的所述耐磨条间形成与晶圆载具宽度相适配的导向滑道。
[0010]作为一种改进的技术方案，所述载具定位机构包括夹持气缸驱动的升降托板和固定安装于所述机架上的托盘限位块、载片板限位板，所述升降托板的顶面设有用以实现晶圆载具定位的定位销，所述托盘限位块和所述载片板限位板均于所述倍速链输送线的两侧，且对应设置，处于定位状态时，晶圆载具定位夹持于所述升降托板和所述托盘限位块、所述载片板限位板之间，且所述托盘限位块延伸至晶圆载具的托盘设置，所述载片板限位板延伸至晶圆载具的载片板设置。
[0011]作为一种改进的技术方案，所述定位销包括圆柱形定位销和菱形定位销，所述圆柱形定位销和所述菱形定位销分别于所述升降托板的两端设置。
[0012]作为一种改进的技术方案，所述机架上固定安装有气缸安装板，所述夹持气缸固定安装于所述气缸安装板上，且所述夹持气缸的活塞轴顶部与所述升降托板的底面中间位置固定连接；所述气缸安装板上还固定安装有若干直线轴承，所述直线轴承内沿竖直方向滑动插装有导向轴，所述导向轴的顶端均与所述升降托板固定连接。
[0013]作为一种改进的技术方案，其中一所述阻挡气缸位于所述载具定位机构的前端，另外一所述阻挡气缸位于所述载具定位机构的后端，且晶圆载具输送至一端抵靠位于所述载具定位机构后端的所述阻挡气缸时，所述定位销与晶圆载具上开设有的定位孔相对应。
[0014]作为一种改进的技术方案，所述取放料机构包括固定安装于所述取放机械臂工作轴上的安装框架，所述安装框架上安装有取片气缸驱动的伯努利吸盘，所述安装框架的底部还固定安装有吸嘴安装板，所述吸嘴安装板的底部安装有若干盖板吸嘴。
[0015]作为一种改进的技术方案，所述取片气缸固定安装于所述安装框架上，所述取片气缸的活塞轴端部通过浮动接头连接有吸盘安装板，所述吸盘安装板与所述安装框架间设有第一压缩弹簧，所述第一压缩弹簧的两端分别与所述吸盘安装板、所述安装框架连接，且所述第一压缩弹簧处于压缩状态，所述伯努利吸盘固定安装于所述吸盘安装板的底面。
[0016]作为一种改进的技术方案，所述吸嘴安装板上固定安装有若干衬套，所述衬套内沿竖直方向滑动插装有吸嘴安装杆，所述吸嘴安装杆上套装有第二压缩弹簧，所述第二压缩弹簧位于所述吸嘴安装杆的底部与所述衬套之间，所述吸嘴安装杆的顶端固定安装有挡环，所述盖板吸嘴分别固定安装于所述吸嘴安装杆的底端；所述吸嘴安装板上还螺纹配合安装有若干止动螺栓，若干所述止动螺栓的底端于同一水平面设置。
[0017]作为一种改进的技术方案，所述盖板放置台包括通过立柱固定安装于所述机架上的盖板放置盘，所述盖板放置盘上具有与盖板外径相适配的盖板定位沿。
[0018]作为一种改进的技术方案，所述晶圆放置台包括固定安装于所述机架上的安装架，所述安装架上均匀设有若干晶圆放置工装，所述晶圆放置工装包括固定安装于所述安装架上、且对应设置的定位块，所述定位块上具有与晶圆外径相适配的晶圆定位沿，所述安
装架上还固定安装有分别与所述晶圆放置工装对应设置的光电开关。
[0019]作为一种改进的技术方案，所述载具举升机构包括固定安装于所述机架上的举升气缸，所述举升气缸的活塞轴端部固定安装有举升板，所述举升板上设有用以实现晶圆载具输送的第一滚轮条，所述输送架体的端部一侧设有用以实现晶圆载具输送的第二滚轮条，所述第一滚轮条、所述第二滚轮条的输送方向与所述倍速链输送线的输送方向相垂直。
[0020]作为一种改进的技术方案，所述载具拨送机构包括固定安装于所述输送架体一端的载具下料电缸，所述载具下料电缸的滑板上固定安装有拨板，所述拨板位于所述载具举升机构上方，且延伸至所述载具举升机构设置。
[0021]作为一种改进的技术方案，所述机架的底部安装有福马轮，所述机架的外防护架体上设有观察窗，所述观察窗为透明玻璃窗，且铰接安装于所述机架的外防护架体本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动下片装置，包括机架，其特征在于：所述机架上设有倍速链输送线、载具定位机构、载具举升机构、取放机械臂、盖板放置台和晶圆放置台，所述载具定位机构和所述载具举升机构沿所述倍速链输送线的输送方向依次设置，所述倍速链输送线上设有阻挡气缸，所述阻挡气缸设有两个，且分别于所述载具定位机构的前后端设置，所述取放机械臂和所述盖板放置台均位于所述倍速链输送线的一侧，且所述取放机械臂的工作轴端部设有用以实现盖板和晶圆取放的取放料机构，所述晶圆放置台位于所述倍速链输送线的一端，且所述倍速链输送线的端部还设有与所述载具举升机构对应设置的载具拨送机构。2.如权利要求1所述的晶圆自动下片装置，其特征在于：所述倍速链输送线包括固定安装于所述机架上的输送架体，所述输送架体的一端转动安装有驱动电机驱动的传动轴，所述传动轴的两端分别键连接有主动齿轮，所述输送架体的另一端转动安装有分别与所述主动齿轮对应设置的从动齿轮，对应设置的所述主动齿轮和所述从动齿轮之间架绕有倍速链，且所述主动齿轮和所述从动齿轮通过所述倍速链传动相连；所述输送架体的端部还均固定安装有倍速链回程导轨，所述倍速链回程导轨具有圆弧形导向面，所述输送架体的顶部内侧均固定安装有耐磨条，沿所述输送架体长度方向对应设置的所述耐磨条间形成与晶圆载具宽度相适配的导向滑道。3.如权利要求2所述的晶圆自动下片装置，其特征在于：所述载具定位机构包括夹持气缸驱动的升降托板和固定安装于所述机架上的托盘限位块、载片板限位板，所述升降托板的顶面设有用以实现晶圆载具定位的定位销，所述托盘限位块和所述载片板限位板均于所述倍速链输送线的两侧，且对应设置，处于定位状态时，晶圆载具定位夹持于所述升降托板和所述托盘限位块、所述载片板限位板之间，且所述托盘限位块延伸至晶圆载具的托盘设置，所述载片板限位板延伸至晶圆载具的载片板设置。4.如权利要求3所述的晶圆自动下片装置，其特征在于：所述机架上固定安装有气缸安装板，所述夹持气缸固定安装于所述气缸安装板上，且所述夹持气缸的活塞轴顶部与所述升降托板的底面中间位置固定连接；所述气缸安装板上还固定安装有若干直线轴承，所述直线轴承内沿竖直方向滑动插装有导向轴，所述导向轴的顶端均与所述升降托板固定连接。5.如权利要求4所述的晶圆自动下片装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：王子龙，李凯杰，陈仁明，李健，赵文文，
申请(专利权)人：山东元旭光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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