【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微机电系统
的驱动器及其制造方法，具体是一种用 于芯片实验室的声表面波微流体驱动器及其制造方法。技术背景近年来，生物芯片技术已经得到了越来越多人们的关注，它在生物学、医学 基础研究、疾病诊断、新药开发、农作物良种选育、司法鉴定、食品卫生监督、 环境监测、国防、航天等领域具有广阔的应用前景。其代表技术产物是基于芯 片实验室(Lab-on-chip)的微型全分析系统，这种系统的特征是利用微电子、 微机械、化学、物理以及计算机技术，将生命科学研究中的样品检测、分析过 程实现连续化、集成化、微型化。这就尤其需要组成系统的每个部件都要尽可 能的简单小型并适合于大量的集成。比如，在一块很小的芯片上要集成过滤器、 反应室、微泵、微阀门等许多微结构。同时在另一方面，基于微米、纳米技术 发展起来的微机电系统，由于是高度集成的光机电一体化系统，驱动器是系统 不可分割的一部分，如微流体驱动系统，由迂回型密集微沟道、微流量传感器、 微型驱动器、微接口等组成，并集成/装配在一起。整个系统还要有专用的信号 处理及驱动电路，用于对微驱动器进入智能化驱动，这不仅易于...
【技术保护点】
一种用于芯片实验室的声表面波微流体驱动器，其特征在于，包括：基底、叉指换能器和微流体沟道，其中，基底是１２８°Ｙ－Ｘ的铌酸锂单晶体，其上是相互交叉的叉指电极形成的叉指换能器，微流体沟道与基底结合。
【技术特征摘要】
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