本发明是一种微机电技术领域可测量任意方向角速度的气体陀螺仪。包括： 硅芯片、压电泵和上TBN层、下TBN层，硅芯片为立体空腔结构，压电泵采用 压电陶瓷泵，上TBN层、下TBN层分别封设在硅芯片的上下表面，构成一个密 封结构，该密封结构内...