可测量任意方向角速度的气体陀螺仪制造技术

本发明专利技术是一种微机电技术领域可测量任意方向角速度的气体陀螺仪。包括： 硅芯片、压电泵和上TBN层、下TBN层，硅芯片为立体空腔结构，压电泵采用 压电陶瓷泵，上TBN层、下TBN层分别封设在硅芯片的上下表面，构成一个密 封结构，该密封结构内充满惰性气体，压电泵固设在硅芯片内部空腔中。本发 明增加了热敏电阻丝的数量，从而可以测量各个方向的角速度，扩大了测量范 围；同时，由于采用体硅工艺制作，在降低成本的同时，使得陀螺仪可以方便 地集成在集成电路上。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种可测量任意方向角速度的气体陀螺仪，其特征在于，包括：硅芯片、压电泵和上ＴＢＮ层、下ＴＢＮ层，硅芯片为立体空腔结构，压电泵采用压电陶瓷泵，上ＴＢＮ层、下ＴＢＮ层分别封设在硅芯片的上下表面，构成一个密封结构，该密封结构内充满惰性气体，压电泵固设在硅芯片内部空腔中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李以贵，孙健，张冠，陈少军，高阳，
申请(专利权)人：李以贵，孙健，张冠，陈少军，高阳，
类型：发明
国别省市：31