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一种微机电系统技术领域的用于芯片实验室的声表面波微流体驱动器及其制造方法。本发明驱动器包括：基底、叉指换能器和微流体沟道，基底是１２８°Ｙ－Ｘ的铌酸锂单晶体，其上是相互交叉的叉指电极形成的ＩＤＴ，微流体沟道与基底结合，本发明采用浮动电极型单...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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