一种尺寸测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种尺寸测量装置，包括：第一测量单元，包括垂直于一工作平面的第一推板和第一挡板，所述第一推板和第一挡板相互平行，且第一推板能够向第一挡板滑动；第二测量单元，包括垂直于工作平面的第二推板和第二挡板，第二推板和第二挡板相互平行，且第二推板能够向第二挡板滑动，第一推板、第一挡板与第二推板和第二挡板能够围成方形空间；第三测量单元，包括位于工作平面上方且相对于工作平面转动的旋转部，旋转部内设置有朝向工作平面的高度传感器。本方案中无论第一测量单元、第二测量单元还是第三测量单元的结构都非常简单，既能够在保证尺寸测量精度的基础上简化操作，提升测量效率；也能够降低加工制造难度，节省生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种尺寸测量装置
本技术属于尺寸测量
，尤其涉及一种尺寸测量装置。
技术介绍
在碳化硅晶体制备
中，碳化硅材料的加工难度大、加工精度高。而通过晶体生长设备对碳化硅原材进行加工得到的晶棒，其表面粗糙、外形不规整，因此不能直接用于后工序的加工。通常需要对晶棒的尺寸进行初步的测量，以为后工序的加工过程提供数据参考。现有技术中对晶棒进行初步尺寸测量的方式主要有以下两种：1.手动测量，采用游标卡尺和直尺等测量工具对晶棒的直径、高度等尺寸进行测量。这种方式因其花费的成本低、操作简便等特点，成为目前应用最广泛的测量方式。例如，晶棒的直径测量需要在晶棒的不同截面进行多次测量，检测人员采用游标卡尺测量时，易受人为因素干扰，如测量人员的熟练度、测量操作方法等，测量精度低、偏差大，且每次测量均需要调整游标卡尺，工作效率低。且晶棒的直径和高度需要分别进行测量，这也进行一步增加了测量耗时。2.三坐标测量仪，通过三坐标测量仪对晶棒的尺寸进行测量，虽然在一定程度上能够提升尺寸测量的精确性。但是，由于三坐标测量仪的造价较高，使得晶棒本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种尺寸测量装置，其特征在于，包括：/n第一测量单元，包括垂直于一工作平面的第一推板和第一挡板，所述第一推板和所述第一挡板相互平行，且所述第一推板能够向所述第一挡板滑动；/n第二测量单元，包括垂直于所述工作平面的第二推板和第二挡板，所述第二推板和所述第二挡板相互平行，且所述第二推板能够向所述第二挡板滑动，所述第一推板、所述第一挡板与所述第二推板和所述第二挡板能够围成方形空间；/n第三测量单元，包括位于所述工作平面上方且相对于所述工作平面转动的旋转部，所述旋转部内设置有朝向所述工作平面的高度传感器。/n

【技术特征摘要】
1.一种尺寸测量装置，其特征在于，包括：
第一测量单元，包括垂直于一工作平面的第一推板和第一挡板，所述第一推板和所述第一挡板相互平行，且所述第一推板能够向所述第一挡板滑动；
第二测量单元，包括垂直于所述工作平面的第二推板和第二挡板，所述第二推板和所述第二挡板相互平行，且所述第二推板能够向所述第二挡板滑动，所述第一推板、所述第一挡板与所述第二推板和所述第二挡板能够围成方形空间；
第三测量单元，包括位于所述工作平面上方且相对于所述工作平面转动的旋转部，所述旋转部内设置有朝向所述工作平面的高度传感器。


2.如权利要求1所述的尺寸测量装置，其特征在于，还包括支撑架，所述支撑架具有底座，所述底座表面能够形成所述工作平面，且所述底座表面开设有相互垂直的第一滑槽和第二滑槽，所述第一推板和所述第二推板分别沿所述第一滑槽和所述第二滑槽滑动。


3.如权利要求2所述的尺寸测量装置，其特征在于，所述第一滑槽和第二滑槽上分别设置有刻度。


4.如权利要求1所述的尺寸测量装置，其特征在于，所述第一测量单元还包括第一尺寸传感器，所述第一尺寸传感器能够测得所述第一推板和所述第一挡板之间的距离；
所述第二测量单元还包括第二尺寸传感器，所述第二尺寸传感器能够测得所述第二推板和所述第二挡板之间的距离。


5.如权利要求2所述的尺寸测量装置，其特征在于，所述支撑架还具有顶板，所述顶板通过所述第一挡板和所述第二挡板分别与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛传艺，宋建，黄治成，张虎，张红岩，姜岩鹏，
申请(专利权)人：山东天岳先进材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37