【技术实现步骤摘要】
本技术属于测量仪器
，涉及一种压力传感器，特别是一种以石英晶体为敏感元件的谐振式压力传感器。现有技术现在世界各国广泛应用的传感器，绝大多数都是以电压和电流(模拟量)信号输出。这些传感器自身不适合于数字控制系统。因而在传感器和控制电路之间需增加A/D变换器。这不仅降低了系统的可靠性和响应速度，而且增加了成本。考虑到现代信息产业三大支柱传感器技术、通信技术和计算机技术对数字化的要求，研制具有数字量输出的传感器，适应以微处理器为中心的数字控制系统是许多
的共同要求。基于谐振技术的谐振式传感器，自身为周期信号输出，只用简单的数字电路即可转换为微处理器容易接受的信号。现在很多国内外的大学和研究机构都在努力研究它的应用前景，我国曾将其列入“九五”国家重点科技攻关计划。在国外，研究压电谐振式压力传感器的历史比较长，正如清华大学申请号为00228913.X的专利文献描述的一样，这些压力传感器都是依靠器件的微位移或微变形的原理获取信号测量压力，如膜盒式和扩散硅式压力传感器，这类传感器的精度主要依靠工艺和材料保证。一直以来，清华大学研究石英谐振传感器的主要方向是集中...
【技术保护点】
一种石英谐振压力传感器，包括壳体、底座、力传递体、两个压电石英谐振器做成的敏感元件以及分别与两所述敏感元件相连的两对电极、环形金属薄膜；所述壳体、底座以及环形金属薄膜形成的带有介质入口的压力腔以及一个封闭腔体；其特征在于，两个所述敏感元件和所述力传递体被设置于所述封闭腔体中，所述力传递体与所述环形金属薄膜的膜心相接触，所述力传递体与所述底座相连；两所述敏感元件位于所述底座和所述力传递体之间。
【技术特征摘要】
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