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石英谐振压力传感器制造技术
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文档序号:2562122
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本实用新型涉及一种以石英晶体为敏感元件的谐振式压力传感器。本实用新型的技术方案是:一种石英谐振压力传感器,包括壳体、底座、力传递体、两个压电石英谐振器做成的敏感元件以及分别与两所述敏感元件相连的两对电极、环形金属薄膜;所述壳体、底座以及环形...
该专利属于王武立所有,仅供学习研究参考,未经过王武立授权不得商用。
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