单片衬底用工艺夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种工艺夹具，尤其是一种单片衬底用工艺夹具，属于衬底加工的技术领域。按照本实用新型专利技术提供的技术方案，所述单片衬底用工艺夹具，包括能支撑衬底的衬底托盘以及与所述衬底托盘固定连接的托盘手柄，在所述衬底托盘内设置若干漏液孔，所述漏液孔贯通衬底托盘；通过托盘手柄能带动衬底托盘上的衬底进行所需的运动，通过漏液孔加速液体流动，以平衡浸没在溶液内衬底上的液体压力。本实用新型专利技术结构紧凑，能满足单片衬底的手工处理需求，提高工艺中对衬底上薄膜结构的压力平衡保护，提高对单片衬底的手工处理便捷性，减少衬底在工艺中产生污染，提高对单片衬底处理的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
单片衬底用工艺夹具
本技术涉及一种工艺夹具，尤其是一种单片衬底用工艺夹具，属于衬底加工的

技术介绍
本
人员周知，在半导体的加工中，需要对衬底进行所需工艺处理，对衬底进行处理的工艺可包括显影工艺、清洗工艺或腐蚀工艺。目前，存在对单片的衬底进行手工处理的工艺场景，而在对单片的衬底进行显影或腐蚀等工艺时，存在手工操作困难，无法有效达到工艺处理的目的，特别是对衬底上具有薄膜结构的情况，在工艺过程中无法有效保护衬底上薄膜结构的压力平衡；同时，在单片工艺过程中，还易污染衬底，进而导致工艺后的衬底无法使用。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种单片衬底用工艺夹具，其结构紧凑，能满足单片衬底的手工处理需求，提高工艺中对衬底上薄膜结构的压力平衡保护，提高对单片衬底的手工处理便捷性，减少衬底在工艺中产生污染，提高对单片衬底处理的可靠性。按照本技术提供的技术方案，所述单片衬底用工艺夹具，包括能支撑衬底的衬底托盘以及与所述衬底托盘固定连接的托盘手柄，在所述衬底托盘内设置若干漏液孔，所述漏液孔贯通衬底托盘；通过托盘手柄能带动衬底托盘上的衬底进行所需的运动，通过漏液孔加速液体流动，以平衡浸没在溶液内衬底上的液体压力。所述衬底托盘呈圆形，在所述衬底托盘的外缘上凸设有手柄连接块，托盘手柄通过手柄连接块与衬底托盘固定连接，托盘手柄的长度方向与衬底托盘所形成的平面相互垂直。在所述衬底托盘上设置限位环，所述限位环垂直分布在衬底托盘上，在限位环上设置至少一个环孔，所述环孔从限位环的端部垂直向衬底托盘的方向延伸。所述环孔在限位环上呈对称分布，托盘手柄呈柱状，在托盘手柄上设置柱状手柄槽，托盘手柄的长度为270mm～285mm。所述衬底托盘呈方形，在所述衬底托盘内设置若干盘体槽，在每个盘体槽的底部设置漏液孔，所述漏液孔贯通盘体槽的槽底。所述盘体槽呈方形状，托盘手柄与衬底托盘的一侧固定，托盘手柄呈长条状。托盘手柄邻近衬底托盘一端的厚度大于托盘手柄远离衬底托盘一端的厚度，在托盘手柄上设置条形手柄槽。所述衬底包括硅衬底、SOI衬底或玻璃衬底。所述衬底托盘以及托盘手柄均采用特氟龙制成。本技术的优点：通过衬底托盘能对衬底进行支撑，通过托盘手柄能方便对衬底托盘进行操作，实现对衬底托盘上的衬底进行晃动，搅拌等操作，通过托盘手柄能避免对衬底进行工艺处理时，可以避免操作者与化学药剂的直接接触，既可以保证安全，又能避免污染衬底。漏液孔贯通衬底托盘，对衬底进行工艺处理时，需要将衬底完全浸没在溶液中；对具有薄膜结构的衬底，通过漏液孔能加速液体的流动，保持液体压力平衡；加速液体的流动可以让化学药剂快速扩散，提高反应效果，压力平衡是保护衬底上薄膜结构的重要条件，通过漏液孔对液体的流动，可以平衡衬底上下液体的压力，即能满足单片衬底的手工处理需求，提高工艺中对衬底上薄膜结构的压力平衡保护，提高对单片衬底的手工处理便捷性，减少衬底在工艺中产生污染，提高对单片衬底处理的可靠性。附图说明图1为本技术的一种实施结构示意图。图2为本技术的另一种实施结构示意图。附图标记说明：1-托盘手柄、2-衬底托盘、3-漏液孔、4-手柄连接块、5-环孔、6-限位环、7-柱状手柄槽、8-盘体槽以及9-条形手柄槽。具体实施方式下面结合具体附图和实施例对本技术作进一步说明。为了能满足单片衬底的手工处理需求，提高工艺中对衬底上薄膜结构的压力平衡保护，提高对单片衬底的手工处理便捷性，减少衬底在工艺中产生污染，提高对单片衬底处理的可靠性，本技术包括能支撑衬底的衬底托盘2以及与所述衬底托盘2固定连接的托盘手柄1，在所述衬底托盘2内设置若干漏液孔3，所述漏液孔3贯通衬底托盘2；通过托盘手柄1能带动衬底托盘2上的衬底进行所需的运动，通过漏液孔3加速液体流动，以平衡浸没在溶液内衬底上的液体压力。具体地，衬底包括硅衬底、SOI((Silicon-On-Insulator))衬底或玻璃衬底，衬底的类型可以根据需要进行选择，即为需要进行手工处理的衬底一般均可。通过衬底托盘2能对衬底进行支撑，一般地，衬底托盘2尺寸大于所支撑衬底的外径，以便衬底的整体能位于衬底托盘2上。托盘手柄1与衬底托盘2固定连接，通过托盘手柄1能方便拿持或带动衬底托盘2进行所需的运动，通过托盘手柄1能避免对衬底进行工艺处理时，可以避免操作者与化学药剂的直接接触，既可以保证安全，又能避免污染衬底。漏液孔3贯通衬底托盘2，一般地，对衬底进行工艺处理时，需要将衬底完全浸没在溶液中，对于具有薄膜结构的衬底，通过漏液孔3能加速液体的流动，保持液体压力平衡；加速液体的流动可以让化学药剂快速扩散，提高反应效果，压力平衡是保护衬底上薄膜结构的重要条件，通过漏液孔3对液体的流动，可以平衡衬底上下液体的压力。本技术实施例中，由于衬底托盘2上存在大量的漏液孔3，且在对衬底进行处理时，存在晃动衬底的情况，因此，必定会存在至少一个漏液孔3未被衬底封堵的情况，利用未被封堵的漏液孔3即可实现对液体的流动，达到平衡衬底上下液体的压力的目的。进一步地，所述衬底托盘2以及托盘手柄1均采用特氟龙制成。本技术实施例中，衬底托盘2以及托盘手柄1采用特氟龙(聚四氟乙烯)制成后，具有耐高温，抗酸碱，抗各种有机溶剂的特性，从而使得衬底托盘2以及托盘手柄1能适用于衬底显影、衬底的有机清洗、无机清洗以及腐蚀等过程中。一般地，衬底托盘2与托盘手柄1间可以采用螺纹连接，或螺丝连接等形式实现所需的固定连接，具体固定连接的形式可根据需要进行选择，此处不再赘述。如图1所示，为衬底托盘2以及托盘手柄1间的具体配合的一种实施情况，具体地，所述衬底托盘2呈圆盘状，在所述衬底托盘2的外缘上凸设有手柄连接块4，托盘手柄1通过手柄连接块4与衬底托盘2固定连接，托盘手柄1的长度方向与衬底托盘2所形成的平面相互垂直。本技术实施例中，衬底托盘2呈圆盘状，衬底托盘2的大小与所要支撑的衬底适配，即衬底托盘2要略大于所支撑的衬底7的外径。为了便于衬底托盘2与托盘手柄1间的连接，在衬底托盘2的外缘上凸设有手柄连接块4，托盘手柄1与手柄连接块4固定连接，如在手柄连接块4内设置螺接孔，托盘手柄1与手柄连接块4通过螺纹连接固定，从而能实现托盘手柄1与衬底托盘2间的连接。具体实施时，托盘手柄1的长度方向与衬底托盘2所形成的平面相互垂直，从而通过托盘手柄1能方便带动衬底托盘2的运动，如实现对衬底托盘2上衬底的晃动，搅拌等。进一步地，在所述衬底托盘2上设置限位环6，所述限位环6垂直分布在衬底托盘2上，在限位环6上设置至少一个环孔5，所述环孔5从限位环6的端部垂直向衬底托盘2的方向延伸。本技术实施例中，限位环6垂直分布在衬底托盘2上，通过限位环6能在衬底托盘2上形成一圈围栏结构，漏液孔3贯通衬底托盘2，漏液孔3位于限位环6的内圈。当衬底置于衬底托盘2上时，利用限位环6能阻挡衬底本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单片衬底用工艺夹具，其特征是：包括能支撑衬底的衬底托盘(2)以及与所述衬底托盘(2)固定连接的托盘手柄(1)，在所述衬底托盘(2)内设置若干漏液孔(3)，所述漏液孔(3)贯通衬底托盘(2)；通过托盘手柄(1)能带动衬底托盘(2)上的衬底进行所需的运动，通过漏液孔(3)加速液体流动，以平衡浸没在溶液内衬底上的液体压力。/n

【技术特征摘要】
1.一种单片衬底用工艺夹具，其特征是：包括能支撑衬底的衬底托盘(2)以及与所述衬底托盘(2)固定连接的托盘手柄(1)，在所述衬底托盘(2)内设置若干漏液孔(3)，所述漏液孔(3)贯通衬底托盘(2)；通过托盘手柄(1)能带动衬底托盘(2)上的衬底进行所需的运动，通过漏液孔(3)加速液体流动，以平衡浸没在溶液内衬底上的液体压力。


2.根据权利要求1所述的单片衬底用工艺夹具，其特征是：所述衬底托盘(2)呈圆形，在所述衬底托盘(2)的外缘上凸设有手柄连接块(4)，托盘手柄(1)通过手柄连接块(4)与衬底托盘(2)固定连接，托盘手柄(1)的长度方向与衬底托盘(2)所形成的平面相互垂直。


3.根据权利要求2所述的单片衬底用工艺夹具，其特征是：在所述衬底托盘(2)上设置限位环(6)，所述限位环(6)垂直分布在衬底托盘(2)上，在限位环(6)上设置至少一个环孔(5)，所述环孔(5)从限位环(6)的端部垂直向衬底托盘(2)的方向延伸。


4.根据权利要求3所述的单片衬底用工艺夹具，其特征是：所述环孔(5)在限位环(6)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：李瑾，冒薇，王丰梅，
申请(专利权)人：苏州研材微纳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32