晶片探测器制造技术

本发明专利技术涉及一种晶片探测器。所述晶片探测器的晶片检测工作台，包括：下板；多个升降柱，其搭载于所述下板的上部表面；及上板，其搭载于所述多个升降柱的上端部，并且，所述各个多个升降柱在上板与下板之间上升/下降，所述上板的高度及倾斜度通过所述升降柱的上下移动而调整。所述晶片检测工作台根据向各个升降柱施加的荷重调整各个升降柱的高度,而能够调整配置在上板上面的卡盘的高度及卡盘的倾斜度或平坦度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】晶片探测器
本专利技术涉及晶片探测器，更详细地，涉及一种晶片探测器，在卡盘下面分隔配置相互独立地驱动的多个升降柱，而独立地调整各个升降柱的高低，由此，能够调整卡盘的高度及卡盘的倾斜度，从而，能够使得置于卡盘上部的晶片与和其接触的探测卡之间的接触面维持平坦的姿势。
技术介绍
作为半导体检测装备的晶片探测器(Waferprober)是以全部完成半导体前工程的晶片为对象，在进入后工程之前，检测在晶片上制造的半导体元件的导电特性，以确认是否存在不良的设备。一般而言，晶片探测器包括：可由垂直及水平方向驱动的工作台；安置在所述工作台上，并在上部表面搭载晶片的卡盘(Chuck)；用于监测所述晶片的电性试验装置及与所述试验装置连接而与晶片接触的探测卡。探测卡的探针有不同的种类，可具有数十个或数万个电性检测用针，但，其共同地均与电性试验装置连接，并且，电性试验装置在基架的上板机械地结合。如同上述地，与电性试验装置连接的探测卡因与固定的基架上板结合，探测卡的探针也能够始终维持固定的位置和状态。即，探测卡的探针维持不变的最初的固定位置，卡盘通过工作台本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶片探测器，作为具有放置晶片的卡盘(Chuck)及用于移动或旋转所述卡盘的晶片检测工作台的晶片探测器,其特征在于，/n所述晶片检测工作台包括：/n下板；/n多个升降柱，其搭载于所述下板的上部表面；及/n上板，其搭载于所述多个升降柱的上端部，/n并且，所述各个多个升降柱在上板与下板之间升降，/n所述上板的高度及倾斜度通过所述升降柱的高度而调整。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180119 KR 10-2018-00071061.一种晶片探测器，作为具有放置晶片的卡盘(Chuck)及用于移动或旋转所述卡盘的晶片检测工作台的晶片探测器,其特征在于，
所述晶片检测工作台包括：
下板；
多个升降柱，其搭载于所述下板的上部表面；及
上板，其搭载于所述多个升降柱的上端部，
并且，所述各个多个升降柱在上板与下板之间升降，
所述上板的高度及倾斜度通过所述升降柱的高度而调整。


2.根据权利要求1所述的晶片探测器，其特征在于，
所述多个升降柱可相互独立地驱动。


3.根据权利要求1所述的晶片探测器，其特征在于，
所述多个升降柱以所述下板的上部表面的中心点为基准均匀地分隔配置。


4.根据权利要求1所述的晶片探测器，其特征在于，
所述晶片检测工作台还包括：
力倾斜度维持模块，其使得多个升降柱的中心的位置不发生变化，而只改变上板的倾斜度。


5.根据权利要求4所述的晶片探测器，其特征在于，
所述力倾斜度维持模块由直线滑动导轨(LinearMotionGuide)形成,
所述直线滑动导轨包括：
LM导轨模块，其分别安装在与上板的下部面相接的所述升降柱的各个上端部；及
LM导轨(LinearMotionGuides)，其安装在所述上板的下部面，并与所述升降柱的各个模块结合，
并且，所述升降柱中的某一个由上下方向移动时,LM导轨模块沿着LM导轨由水平方向移动,从而，升降柱的中心的位置不发生变化，而只改变上板的倾斜度。


6.根据权利要求1所述的晶片探测器，其特征在于，
所述晶片检测工作台还包括：
多个荷重测量传感器，其分别安装在所述多个升降柱,而感知向各个升降柱施加的荷重。


7.根据权利要求6所述的晶片探测器，其特征在于，
所述晶片探测器还包括：
预载调整模块，其形成于上板的下部面与升降柱的上部面之间，
并且，所述荷重测量传感器搭载于预载调整模块的上部或下部。

【专利技术属性】
技术研发人员：朴滥佑，朴基宅，
申请(专利权)人：株式会社塞米克斯，
类型：发明
国别省市：韩国;KR