【技术实现步骤摘要】
一种多工位传送装置
本技术涉及多个工位的传送装置，尤其涉及用于CVD设备上下料的传送装置。
技术介绍
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上，CVD技术是其中的一种处理方式，CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺，例如磷扩散、硼扩散等，都可以采用气体扩散的方式来对原材料进行加工，目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、小舟或者花篮。舟或者花篮作为承载片状材料的载体，在加工过程中，其本身也需要空载或满载进行搬运，这种搬运如果采用人工必然会费时费力且容易发生损坏和偏差。专利技术...
【技术保护点】
1.一种多工位传送装置，其特征是，包括第一传送部分和第二传送部分，第一传送部分和第二传送部分之间设有可调整工位，被配置为能够改变自身位置使被传送物处于不同的工位和/或状态。/n
【技术特征摘要】
1.一种多工位传送装置，其特征是，包括第一传送部分和第二传送部分，第一传送部分和第二传送部分之间设有可调整工位，被配置为能够改变自身位置使被传送物处于不同的工位和/或状态。
2.根据权利要求1所述的一种多工位传送装置，其特征是，所述可调整工位包括至少两个工位和/或状态。
3.根据权利要求1所述的一种多工位传送装置，其特征是，第一传送部分被配置为能够用于上料，相应地，第二传送部分被配置为能够用于下料；
或者，
第一传送部分被配置为能够用于下料，相应地，第二传送部分被配置为能够用于上料。
4.根据权利要求2所述的一种多工位传送装置，其特征是，所述第一传送部分和所述第二传送部分均设有用于传送舟和/或舟托的传送工位。
5.根据权利要求3或4所述的一种多工位传送装置，其特征是，所述第一传送部分和第二传送部分分别包括传送带，被配置为能够通过电机驱动从而传动舟或者舟托。
6.根据权利要求1、3或4所述的一种多工位传送装置，其特征是，所述第一传送部分和所述第二传送部分分别设有用于检测被传送物是否到位的检测装置。
7.根据权利要求1或2所述的一种多工位传送装置，其特征是，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，刘群，庞爱锁，朱太荣，林依婷，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。