检查用工作台制造技术

提供检查用工作台，不需要劳力和技能就确认装置的状态。在加工装置的检查中使用的检查用工作台具有：基座部，其以能够装卸的方式支承于卡盘工作台的保持面或工作台基台；传感器，其固定于基座部，由电力进行驱动；信息发送部，其发送传感器所检测出的信息；以及电池，其向传感器和信息发送部提供电力。传感器是压力检测传感器、倾斜检测传感器、温度检测传感器、光量传感器或图像传感器。检查用工作台使用传感器来检测或记录与卡盘工作台、加工单元、工作台基台或移动单元相关联的压力、倾斜度、温度、光量或所拍摄的外观。

【技术实现步骤摘要】
检查用工作台
本专利技术涉及对卡盘工作台所保持的被加工物进行加工的加工装置的检查用的检查用工作台。
技术介绍
存在各种利用卡盘工作台对被加工物进行保持并加工(半导体晶片或封装基板的切削、激光加工、磨削等)的加工装置。例如在切削装置的情况下，如果卡盘工作台倾斜规定以上，则切入深度会发生变动，产生未切断的区域。另外，在切削装置中，如果喷嘴相对于切削刀具未被定位于规定的位置，则污染物(切削屑)会大量附着于被加工物等，无法得到期望的加工结果。因此，需要定期地检查装置的状态。专利文献1：日本特开2017-144511号公报专利文献2：日本特开2017-199777号公报在进行装置状态的检查的情况下，为了确认装置是否为期望的状态，在狭窄的装置中进行观察或者将各种测定器设置在装置中等需要劳力和技能。例如，在切削装置中，为了确认切削水喷嘴是否被定位成与切削刀具平行，有时在切削刀具的下方设置镜子而进行窥视作业。但是，由于该作业是在暗且狭窄的空间中进行的，因此非常困难。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于，提供不需要劳力和技能就能够确认装置的状态的检查用工作台。根据本专利技术，提供检查用工作台，其在加工装置中使用，该加工装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；加工单元，其与该保持面相对，对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；工作台基台，其将该卡盘工作台支承为装卸自如；移动单元，其使该工作台基台移动；以及照相机单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄，其中，该检查用工作台包含：基座部，其以能够装卸的方式支承于该卡盘工作台的该保持面或该工作台基台；传感器，其固定于该基座部，由电力进行驱动；信息发送部，其发送该传感器所检测出的信息；以及电池，其向该传感器和该信息发送部提供电力，该传感器从由压力检测传感器、倾斜检测传感器、温度检测传感器、光量传感器以及图像传感器构成的组中进行选择，该检查用工作台使用该传感器来检测或记录与该卡盘工作台、该加工单元、该工作台基台或该移动单元相关联的压力、倾斜度、温度、光量或所拍摄的外观。根据该结构，仅通过固定在加工装置的卡盘工作台上(保持面上)或者代替卡盘工作台而固定在工作台基台上，就能够实现将各种传感器搭载于工作台的状况。由此，能够拍摄加工单元、切削刀具的周围的状况(喷嘴的倾斜度、喷嘴与刀具的位置关系)、激光照射单元的周围的状况(真空单元与聚光透镜的位置关系)并进行确认。另外，根据本专利技术的结构，由于具有信息发送部，因此即使在远离工作台的位置，也能够确认工作台面的倾斜度、移动单元的偏转和俯仰、照相机单元的照明的强弱和偏移等。优选的是，检查用工作台还包含记录来自该传感器的检测信息的存储器。根据该结构，操作者能够根据需要取得并利用传感器所检测出的检测信息。根据本专利技术，起到了不需要劳力和技能就能够确认装置的状态的效果。附图说明图1是示出本专利技术实施方式的加工装置的立体图。图2是图1的加工装置的主要部分的局部侧剖视图。图3是实施方式的加工单元的立体图。图4是说明对图1的加工装置的卡盘工作台所保持的被加工物进行切削加工的动作的局部侧剖视图。图5是示出实施方式的加工装置的立体图。图6是图5的加工装置的主要部分的局部侧剖视图。图7是示出实施方式的检查用工作台的立体图。图8是示出本专利技术实施方式的检查用工作台的结构例的图。图9是示出实施方式的检测的一例的图。图10是示出实施方式的检测的一例的图。图11是示出实施方式的检测的一例的图。图12是示出实施方式的检测的一例的图。图13是示出实施方式的图像传感器所拍摄的图像的一例的图。图14是示出实施方式的检测信息的一例的图。图15是示出实施方式的检查用工作台的处理的一例的流程图。图16是示出实施方式的数据选择画面的一例的图。标号说明2：加工装置；20：卡盘工作台基台；23：载置面；24：卡盘工作台吸引路；25：被加工物吸引路；25a：密封部件嵌入部；30：卡盘工作台；33：保持面；34：下表面；36：保持面吸引路；38：密封部件；39：控制单元；60：加工单元；62：照相机单元；63：切削液提供第1喷嘴；64：主轴；65：安装凸缘；66：切削刀具；67：切削液提供第2喷嘴；68：冷却水提供喷嘴；100：被加工物；200：检查用工作台；201：基座部；202：压力检测传感器；203：倾斜检测传感器；204：温度检测传感器；205：光量传感器；206：图像传感器；207：灯；208：信息通信部；209：存储部；210：检测信息记录区域；211：运算处理部；212：电池。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。本专利技术不限定于以下的实施方式所记载的内容。另外，在以下所记载的结构要素中包含本领域技术人员能够容易想到的、实质上相同的结构要素。而且，以下所记载的结构能够适当组合。另外，能够在不脱离本专利技术的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或者变更。在以下说明的实施方式中，设定XYZ直角坐标系，参照该XYZ直角坐标系对各部分的位置关系进行说明。将水平面内的一个方向设为X轴方向，将在水平面内与X轴方向垂直的方向设为Y轴方向，将与X轴方向和Y轴方向分别垂直的方向设为Z轴方向。包含X轴和Y轴的XY平面与水平面平行。与XY平面垂直的Z轴方向是铅直方向。使用图1至图4对实施方式的加工装置2的概要进行说明。图1是示出实施方式的加工装置的立体图。图2是图1的加工装置的主要部分的局部侧剖视图。图3是实施方式的加工单元的立体图。图4是说明对图1的加工装置的卡盘工作台所保持的被加工物进行切削加工的动作的局部侧剖视图。由实施方式的加工装置2进行加工的被加工物100(例如参照图1)是将硅、蓝宝石、镓等作为基板101的圆板状的半导体晶片或光器件晶片。被加工物100在由形成于基板101的正面102的多条分割预定线103划分成格子状的区域中形成有器件104。被加工物100在正面102的背侧的背面105粘贴有直径比基板101大的粘接带即划片带106，在划片带106的外周粘贴有环状的框架107。即，被加工物100借助划片带106而被支承在环状的框架107的开口处。在本实施方式中，以具有被加工物100、划片带106以及环状的框架107的方式构成框架单元108。另外，在被加工物100与环状的框架107之间形成有划片带106的环状区域106A。另外，被加工物100的基板101的材质、形状、构造、大小等没有限制，例如也可以使用由陶瓷、树脂、金属等材料构成的任意形状的基板来作为被加工物。另外，器件104的种类、数量、形状、构造、大小、配置等也没有限制。如图1所示，加工装置2具有搭载有各结构要素的基台4。在基台4的上表面设置有作为加工进给单元的X轴移动机构6。X轴移动机构6具有与作为加工进给方向的X轴方向大致平行的一对X轴导轨8，在X轴导轨8上以能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查用工作台，其在加工装置中使用，该加工装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；加工单元，其与该保持面相对，对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；工作台基台，其将该卡盘工作台支承为装卸自如；移动单元，其使该工作台基台移动；以及照相机单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄，其中，/n该检查用工作台包含：/n基座部，其以能够装卸的方式支承于该卡盘工作台的该保持面或该工作台基台；/n传感器，其固定于该基座部，由电力进行驱动；/n信息发送部，其发送该传感器所检测出的信息；以及/n电池，其向该传感器和该信息发送部提供电力，/n该传感器从由压力检测传感器、倾斜检测传感器、温度检测传感器、光量传感器以及图像传感器构成的组中进行选择，/n该检查用工作台使用该传感器来检测或记录与该卡盘工作台、该加工单元、该工作台基台或该移动单元相关联的压力、倾斜度、温度、光量或所拍摄的外观。/n

【技术特征摘要】
20190205 JP 2019-0184211.一种检查用工作台，其在加工装置中使用，该加工装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；加工单元，其与该保持面相对，对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；工作台基台，其将该卡盘工作台支承为装卸自如；移动单元，其使该工作台基台移动；以及照相机单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄，其中，
该检查用工作台包含：
基座部，其以能够装卸的方式支承于该卡盘工作台的该保持面或该工作台基台；
传感器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚龙才，李志伟，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP