晶圆湿制程设备用恒温加热槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽，包括电镀用槽体以及循环加热机构，所述电镀用槽体外四周设有加热外槽，所述电镀用槽体与所述加热外槽之间相互间隔以形成水浴加热空间，所述循环加热机构连通于所述电镀用槽体，所述加热外槽由外界向所述水浴加热空间内通入加热水，所述加热水的温度高于所述电镀用槽体内药液的温度。本实用新型专利技术所提供的晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其结构简明，方便操作，通过在现有的电镀用槽体外加设加热外槽，以形成水浴加热形式，可全方位地对电镀用槽体内的药液进行加热。

【技术实现步骤摘要】
晶圆湿制程设备用恒温加热槽
本技术涉及一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽。
技术介绍
目前，用于电镀槽内药液加热的现有做法有：a.通过加热棒对电镀用槽体(或清洗槽)内进行药液加热；b.也有通过外接管道/路对电镀用槽体(或清洗槽)在线药液加热；c.再有就是通过热水包围电镀用槽体(或清洗槽)来进行药液加热，或称水浴加热。对于a方式，存在加热不均匀，可能影响药液效果的缺陷；对于b方式，其加热效果没有c方式来的速度，且外接管路布设较为繁琐；而对于(水域加热)c方式，被较少应用，通常，应用于清洗的药水可能达到80℃高温，就需要外部包围的水温度更高，这就需要更大的压力来维持，需要更高强度的槽体来实现。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽。为实现以上目的，通过以下技术方案实现：一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽，包括电镀用槽体以及循环加热机构，所述电镀用槽体外四周设有加热外槽，所述电镀用槽体与所述加热外槽之间相互间隔以形成水浴加热空间，所述循环加热机构连通于所述电镀用槽体，所述加热外槽由外界向所述水浴加热空间内通入加热水，所述加热水的温度高于所述电镀用槽体内药液的温度。优选地，所述加热外槽与所述电镀用槽体相互隔断，所述加热外槽的侧壁上设有外接进水口以及外接出水口以供与外界供水加热装置连通。优选地，所述电镀用槽体的外壁与所述加热外槽的内壁之间设有加强支撑结构。优选地，所述加强支撑结构包括均匀排布于所述电镀用槽体侧壁及底面的多个加强肋。优选地，所述加强支撑结构包括透水加强板，所述透水加强板围设于所述所述加强肋外，所述外接进水口以及所述外接出水口分别通过管路穿过所述加热外槽并连通于所述透水加强板，所述透水加强板上开设有多个均匀排布的透水孔以供与所述加热外槽连通。优选地，所述电镀用槽体的外壁上沿围设有外缘盖体，所述外缘盖体与所述电镀用槽体的外壁之间设有所述加强肋。优选地，所述电镀用槽体与所述外缘盖体的顶面封闭连接，所述加热外槽的顶端封闭连接于所述外缘盖体的底面。优选地，所述电镀用槽体的顶部敞开且设有可活动打开的盖板机构。优选地，所述盖板机构包括安装框，所述外缘盖体的顶部敞开，所述安装框安装于所述外缘盖体上，所述安装框上设有通过铰链结构或连杆结构自动打开的多个盖板。优选地，所述铰链结构或所述连杆结构上安装有机械手并通过所述机械手进行自动转动进而控制所述盖板的启闭。优选地，所述电镀用槽体上分别设有进液口以及出液口，所述电镀用槽体的内部设有隔板进而形成相互连通的进液内腔以及出液内腔，所述进液口连通于所述进液内腔，所述出液口连通于所述出液内腔。优选地，所述循环加热机构通过连接管分别连通于所述进液口以及所述出液口，所述循环加热机构包括相互连通的加热泵以及过滤器，所述加热泵连通于所述出液口，所述过滤器连通于所述进液口。本技术晶圆湿制程设备用恒温加热槽的有益效果包括：1)在现有的电镀用槽体外加设加热外槽，以形成水浴加热形式，可全方位地对电镀用槽体内的药液进行加热；2)电镀用槽体与加热外槽之间设有加强支撑结构，以增强槽体整体强度进而适应更高温度的热水；3)在电镀用槽体与加热外槽之间还设有透水加强板，外接进水口与外接出水口不直接连通于加热外槽而连通于该透水加强板，这样，可促使加热外槽进入的热水来回循环于透水加强板内外侧，进而加强热水的流动性，使加热效果更好；4)电镀用槽体还与循环加热机构连通，通过循环加热机构的加热泵可对槽内的药液循环加热，通过其过滤器可对药液进行过滤，形成良好的加热过滤循环。附图说明图1为本技术晶圆湿制程设备用恒温加热槽的整体结构示意图。图2为本技术晶圆湿制程设备用恒温加热槽的另一视角结构示意图。图3为本技术晶圆湿制程设备用恒温加热槽中电镀用槽体的一侧结构示意图。图4为对应图3中A-A截面的剖视结构示意图。图5为对应图1中电镀用槽体的俯视结构示意图。图6为对应图5中B-B截面的剖视结构示意图。图7为对应图2中加热外槽与透水加强板的连接结构示意图。图8为对应图4或图6中托架及隔板的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术进行详细的描述：如图1和图2所示，一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽，包括电镀用槽体1以及循环加热机构3，所述电镀用槽体1外四周设有加热外槽2，所述电镀用槽体1与所述加热外槽2之间相互间隔以形成水浴加热空间，所述循环加热机构3连通于所述电镀用槽体1，所述加热外槽2由外界向所述水浴加热空间内通入加热水，所述加热水的温度高于所述电镀用槽体1内药液的温度。具体地，所述加热外槽2与所述电镀用槽体1相互隔断，所述加热外槽2的侧壁上设有外接进水口20以及外接出水口22以供与外界供水加热装置连通。如图2、图4和图6所示，所述电镀用槽体1上分别设有进液口10以及出液口12，所述电镀用槽体1的内部设有隔板14进而形成相互连通的进液内腔16以及出液内腔18，所述进液口10连通于所述进液内腔16，所述出液口12连通于所述出液内腔18。结合图1和图2所示，所述循环加热机构3通过连接管30分别连通于所述进液口10以及所述出液口12，所述循环加热机构3包括相互连通的加热泵32以及过滤器34，所述加热泵32连通于所述出液口12，所述过滤器34连通于所述进液口10。这样，循环加热机构3可以起到良好的循环加热及过滤的作用。为更好地加强结构强度，如图4和图6所示，所述电镀用槽体1的外壁与所述加热外槽2的内壁之间设有加强支撑结构。其中，所述加强支撑结构包括均匀排布于所述电镀用槽体1侧壁及底面的多个加强肋4，该加强肋4可优选采用槽钢或方型钢或钢筋。结合图2和图7所示，所述加强支撑结构包括透水加强板5，所述透水加强板5围设于所述所述加强肋4外，所述外接进水口20以及所述外接出水口22分别通过管路穿过所述加热外槽2并连通于所述透水加强板5，所述透水加强板5上开设有多个均匀排布的透水孔50以供与所述加热外槽2连通。以此，能促使热水在加热外槽2内流动。进一步地，如图1至图6所示，所述电镀用槽体1的外壁上沿围设有外缘盖体6，所述外缘盖体6与所述电镀用槽体1的外壁之间设有所述加强肋4。为保证电镀用槽体1和加热外槽2的内外隔断且不相通，所述电镀用槽体1与所述外缘盖体6的顶面封闭连接，所述加热外槽2的顶端封闭连接于所述外缘盖体6的底面。另一方面，所述电镀用槽体1的顶部敞开且设有可活动打开的盖板机构7。具体地，所述盖板机构7包括安装框70，所述外缘盖体6的顶部敞开，所述安装框70安装于所述外缘盖体6上，所述安装框70上设有通过铰链结构72或连杆结构自动打开的多个盖板74，盖板74可设置成两扇对开。优选地，所述铰链结构72或所述连杆结构上安装有机械手8并通过所述机械手8进行自动转动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其特征在于，包括电镀用槽体以及循环加热机构，所述电镀用槽体外四周设有加热外槽，所述电镀用槽体与所述加热外槽之间相互间隔以形成水浴加热空间，所述循环加热机构连通于所述电镀用槽体，所述加热外槽由外界向所述水浴加热空间内通入加热水，所述加热水的温度高于所述电镀用槽体内药液的温度。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其特征在于，包括电镀用槽体以及循环加热机构，所述电镀用槽体外四周设有加热外槽，所述电镀用槽体与所述加热外槽之间相互间隔以形成水浴加热空间，所述循环加热机构连通于所述电镀用槽体，所述加热外槽由外界向所述水浴加热空间内通入加热水，所述加热水的温度高于所述电镀用槽体内药液的温度。


2.根据权利要求1所述的晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其特征在于，所述加热外槽与所述电镀用槽体相互隔断，所述加热外槽的侧壁上设有外接进水口以及外接出水口以供与外界供水加热装置连通。


3.根据权利要求2所述的晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其特征在于，所述电镀用槽体的外壁与所述加热外槽的内壁之间设有加强支撑结构。


4.根据权利要求3所述的晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其特征在于，所述加强支撑结构包括透水加强板和均匀排布于所述电镀用槽体侧壁及底面的多个加强肋，所述透水加强板围设于所述加强肋外，所述外接进水口以及所述外接出水口分别通过管路穿过所述加热外槽并连通于所述透水加强板，所述透水加强板上开设有多个均匀排布的透水孔以供与所述加热外槽连通。


5.根据权利要求3所述的晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其特征在于，所述加强支撑结构包括均匀排布于所述电镀用槽体侧壁及底面的多个加强肋；所述电镀用槽体的外壁上沿围设有外缘盖体，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王振荣，刘红兵，卢鹏，凌嘉伟，
申请(专利权)人：上海新阳半导体材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31