一种溅射靶材交变箱制造技术

本实用新型专利技术涉及一种溅射靶材交变箱，包括上箱体和下箱体、与上箱体转动连接的箱门、设置在上箱体内的置物台、设置在上箱体内壁上的出风口和传感器、设置在下箱体内的温度控制系统，温度控制系统包括温度调节开关、时间控制开关、与温度调节开关和时间控制开关均连接的处理器、与处理器连接的调温器和显示屏、与调温器连接的风道，传感器也连接处理器，温度调节开关、时间控制开关和显示屏均设置在下箱体的外壁上，处理器和调温器均设置在下箱体内，风道的出风口设置在上箱体内。本装置温度范围为‑70摄氏度至700摄氏度，温度范围大，便于高低温交错形成符合要求的溅射靶材产品，并夹紧溅射靶材，防止掉落。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射靶材交变箱
本专利申请属于溅射靶材加工设备
，更具体地说，是涉及一种溅射靶材交变箱。
技术介绍
溅射靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如，尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制；较高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等。磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式，其是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜，这种被镀的材料就叫溅射靶材。溅射靶材有金属，合金，陶瓷化合物等。高低温交变湿热箱是仿真模拟高低温试验及环境湿度转变自然环境的专用工具，适用检验电子器件、汽车零配件、硫化橡胶、军用、航天科技及通信器械等商品在温度湿度不断转变下的抵抗力，依据检测结果进而分辨商品的可信性和可靠性，是产品研发和改善产品品质的理想化实验设备。但目前的高低温交变箱不符合溅射靶材的生产要求，在高低温实验时，由于溅射靶材放置不稳妥，容本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅射靶材交变箱，其特征在于：包括上下设置的上箱体（1）和下箱体（2）、与上箱体（1）转动连接的箱门（3）、设置在上箱体（1）内的置物台、设置在上箱体（1）内壁上的出风口（5）和传感器（7）、设置在下箱体（2）内的温度控制系统，温度控制系统包括温度调节开关（41）、时间控制开关（42）、与温度调节开关（41）和时间控制开关（42）均连接的处理器（44）、与处理器（44）连接的调温器（45）和显示屏（46）、与调温器（45）连接的风道，传感器（7）也连接处理器（44），温度调节开关（41）、时间控制开关（42）和显示屏（46）均设置在下箱体（2）的外壁上，处理器（44）和调温器（45）均设...

【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材交变箱，其特征在于：包括上下设置的上箱体（1）和下箱体（2）、与上箱体（1）转动连接的箱门（3）、设置在上箱体（1）内的置物台、设置在上箱体（1）内壁上的出风口（5）和传感器（7）、设置在下箱体（2）内的温度控制系统，温度控制系统包括温度调节开关（41）、时间控制开关（42）、与温度调节开关（41）和时间控制开关（42）均连接的处理器（44）、与处理器（44）连接的调温器（45）和显示屏（46）、与调温器（45）连接的风道，传感器（7）也连接处理器（44），温度调节开关（41）、时间控制开关（42）和显示屏（46）均设置在下箱体（2）的外壁上，处理器（44）和调温器（45）均设置在下箱体（2）内，风道的出风口（5）设置在上箱体（1）内；
上箱体内的置物台为架体式结构，置物台包括设置在上箱体（1）内的支架（61）、间隔设置在支架（61）上的若干支撑块（62）、设置在上下左右相邻的四个支撑块（62）所形成的空腔内的置物板（63）、设置在每个置物板（63）上的若干供溅射靶材放置的置物槽（64），每个置物槽（64）的内缘还设有防护垫圈。


2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材交变箱，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢伟亮，
申请(专利权)人：中诺新材北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11